[实用新型]Ag靶材

权利要求书

1.Ag靶材，置于真空腔室的正交电磁场的阴极上，其特征在于，包括数个依序相接围成环形结构的靶材块，所述分别置于环形结构两端部的靶材块为呈直角弯折状的弯折靶材块。

2.如权利要求1所述的Ag靶材，其特征在于，所述Ag靶材包括两层结构一致且相向设置的靶材块组，所述靶材块组包括所述一处于端部的弯折靶材块以及数个依序相接且呈直条状的直条靶材块，所述两层靶材块组关于所述Ag靶材的中心对称。

3.如权利要求2所述的Ag靶材，其特征在于，所述两层靶材块组分别为上层靶材块组和下层靶材块组，所述上层靶材块组一端部的弯折靶材块连接于下层靶材块组一端部的直条靶材块，所述下层靶材块组另一端部的弯折靶材块连接于所述上层靶材块组另一端部的直条靶材块。

4.如权利要求3所述的Ag靶材，其特征在于，所述上层靶材块组和所述下层靶材块组之间具有中间区域，所述中间区域设有用于可装于所述阴极上的中间压条。

5.如权利要求3所述的Ag靶材，其特征在于，所述上层靶材块组的上侧和所述下层靶材块组的下侧分别设有可装于所述阴极的侧压条。

6.如权利要求2～5任一项所述的Ag靶材，其特征在于，所述弯折靶材块的长边的长度范围为440mm～890mm，短边的长度范围为100mm～350mm。

7.如权利要求2～5任一项所述的Ag靶材，其特征在于，所述直条靶材块长边的长度范围为：440mm～890mm。