[发明专利]薄膜形成装置及薄膜形成方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种在对象物上吐出液状材料来形成薄膜的装置及形成薄膜的方法。

背景技术

对于以往的在印刷配线板上形成阻焊抗蚀剂的图案的方法进行说明。首先，在表面形成有电路图案的印刷配线板的整个面涂敷感光性阻焊抗蚀剂。使用预定的掩模图案将阻焊抗蚀剂膜曝光之后通过显像来形成阻焊抗蚀剂的图案。

通常，在阻焊抗蚀剂层上印刷有用于识别基板的识别信息。周知有在曝光阻焊抗蚀剂层之前，通过喷墨印刷机印刷识别信息的方法。印字后，通过将阻焊抗蚀剂层曝光及显像能够形成耐清洗的印字图案。

专利文献1：日本特开2006-147614号公报

以往的方法中，通过阻焊抗蚀剂层的涂敷、印字、曝光及显像的工序，制造印刷有识别信息的基板。要求缩减用于印字的工序数。

发明内容

根据本发明的一个观点，提供一种薄膜形成装置，该薄膜形成装置具有：

载物台，保持对象物；

第1喷头，与所述对象物对置且形成有吐出第1色液状材料的多个喷嘴孔；

第2喷头，与所述对象物对置且形成有吐出与第1色不同的第2色液状材料的多个喷嘴孔；

移动机构，使所述载物台相对于所述第1喷头及所述第2喷头在所述对象物的面内方向移动，或使所述第1喷头及所述第2喷头相对于所述载物台在所述对象物的面内方向移动；及

控制装置，控制所述移动机构、所述第1喷头及所述第2喷头，

所述控制装置控制所述第1喷头及所述移动机构而在所述对象物上以所述第1色液状材料形成第1薄膜，且控制所述第2喷头及所述移动机构而在所述对象物上以所述第2色液状材料形成第2薄膜。

根据本发明的另一观点，提供一种薄膜形成方法，其包括：

根据应形成的薄膜图案的图像数据，从多个第1喷嘴孔向对象物的表面吐出第1色液状材料来形成第1色的第1薄膜的工序；及

根据应形成的记号图案的图像数据，从多个第2喷嘴孔向所述对象物的表面吐出与所述第1色不同的第2色液状材料来形成第2色的第2薄膜的工序。

发明效果

使用第1喷头及第2喷头，能够通过1次扫描涂敷2色的液状材料。若以其中一个颜色的液状材料表示文字或记号等，则无需实施用于印字的独立的工序就能够进行印字。并且，能够通过以2色区分涂敷来提高设计效果。

附图说明

图1是基于实施例1的薄膜形成装置的概要侧视图。

图2A是形成薄膜的对象物和应形成的薄膜的俯视图，图2B是将其一部分放大的俯视图。

图3A是喷嘴单元的立体图，图3B是喷嘴单元的仰视图。

图4是表示形成第1薄膜的液状材料与形成第2薄膜的液状材料的着落点的位置的图。

图5A～图5C是以基于实施例1的方法形成的薄膜的截面图。

图6是视觉性地表示以基于实施例1的方法形成薄膜时所利用的图像数据的图。

图7是以基于实施例2的方法形成的薄膜的截面图。

图中：20-平台，21-移动机构，22-支柱，23-梁，25-载物台，30-对象物（印刷基板），31-对准标志，32-第1薄膜，33-第2薄膜，40-喷嘴单元，41-支承部件，42-喷头，42G-第1色用喷头，42W-第2色用喷头，43-紫外光源，45-喷嘴孔，50-摄像装置，60-控制装置，61-存储装置，70-第1薄膜的着落点，71-第2薄膜的着落点，80-定义以薄膜覆盖的区域的图像数据，81-第2薄膜的图像数据，82-第1薄膜的图像数据。

具体实施方式

[实施例1]

图1中示出基于实施例1的薄膜形成装置的概要侧视图。在平台20上通过移动机构21保持载物台25。在载物台25上保持有形成薄膜的对象物30，例如印刷基板。移动机构21使载物台25向与其保持面平行的2个方向移动，并且能够将垂直于保持面的轴作为旋转中心而使其旋转。载物台25例如通过真空卡盘固定对象物30。

载物台25的上方配置有喷嘴单元40及摄像装置50。喷嘴单元40及摄像装置50通过支柱22及梁23支承于平台20。喷嘴单元40具有多个喷嘴孔，从喷嘴孔朝向对象物25吐出液状材料的液滴，例如阻焊抗蚀剂的液滴。摄像装置50拍摄在对象物30的表面形成的对准标志、配线图案等。