[发明专利]薄膜形成装置及薄膜形成方法

权利要求书

1.一种薄膜形成装置，其中，具有：

载物台，保持对象物；

第1喷头，与所述对象物对置且形成有吐出第1色液状材料的多个喷嘴孔；

第2喷头，与所述对象物对置且形成有吐出与第1色不同的第2色液状材料的多个喷嘴孔；

移动机构，使所述载物台相对于所述第1喷头及所述第2喷头在所述对象物的面内方向移动，或使所述第1喷头及所述第2喷头相对于所述载物台在所述对象物的面内方向移动；及

控制装置，控制所述移动机构、所述第1喷头及所述第2喷头，

所述控制装置控制所述第1喷头及所述移动机构而在所述对象物上以所述第1色液状材料形成第1薄膜，且控制所述第2喷头及所述移动机构而在所述对象物上以所述第2色液状材料形成第2薄膜。

2.如权利要求1所述的薄膜形成装置，其中，

所述第1液状材料及所述第2液状材料为阻焊抗蚀剂。

3.如权利要求1或2所述的薄膜形成装置，其中，

所述第2薄膜具有作为用肉眼能够识别的标识发挥作用的平面形状。

4.如权利要求1～3中任一项所述的薄膜形成装置，其中，

在应形成所述第2薄膜的区域，所述控制装置以不吐出所述第1色液状材料的方式控制所述第1喷头。

5.如权利要求1～4中任一项所述的薄膜形成装置，其中，

所述第2薄膜的分辨率低于所述第1薄膜的分辨率。

6.如权利要求5所述的薄膜形成装置，其中，

所述控制装置以使从所述第2喷头的喷嘴孔吐出的所述第2色液状材料的液滴的体积大于从所述第1喷头的喷嘴孔吐出的所述第1色液状材料的液滴的体积的方式来控制所述第1喷头及所述第2喷头。

7.一种薄膜形成方法，其中，包括：

根据应形成的薄膜图案的图像数据，从多个第1喷嘴孔向对象物的表面吐出第1色液状材料来形成第1色的第1薄膜的工序；及

根据应形成的记号图案的图像数据，从多个第2喷嘴孔向所述对象物的表面吐出与所述第1色不同的第2色液状材料来形成第2色的第2薄膜的工序。

8.如权利要求7所述的薄膜形成方法，其中，

所述第1色液状材料及所述第2色液状材料为阻焊抗蚀剂。