[发明专利]一种冷却进气布局结构无效

申请号：	201210590832.4	申请日：	2012-12-29
公开（公告）号：	CN103046025A	公开（公告）日：	2013-04-17
发明（设计）人：	雷震霖;赵崇凌;李士军;张健;张冬;洪克超;徐宝利;钟福强;陆涛;许新;王刚;刘兴;张妍;王学敏;李松;屈秋霞;张缔;朱龙来;徐浩宇;赵科新;闫用用	申请（专利权）人：	中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
主分类号：	C23C16/44	分类号：	C23C16/44
代理公司：	沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002	代理人：	何丽英
地址：	110168 辽***	国省代码：	辽宁;21
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摘要：
搜索关键词：	一种冷却布局结构
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【权利要求书】：

1.一种冷却进气布局结构，其特征在于：包括真空腔体(3)、法兰(2)、进气法兰槽(1)及进气管(4)，其中真空腔体(3)的底部设有法兰(2)，所述进气管(4)的一端穿过法兰(2)和真空腔体(3)的底部插入真空腔体(3)内，进气管(4)的另一端通过与法兰(2)连接的进气法兰槽(1)固定于真空腔体(3)的底部。

2.按权利要求1所述的冷却进气布局结构，其特征在于：所述进气管(4)位于真空腔体(3)内部的端口对准真空腔体(3)的侧壁。

3.按权利要求2所述的冷却进气布局结构，其特征在于：所述进气管(4)位于真空腔体(3)内部端口的轴心与真空腔体(3)底部表面的距离为20mm。

4.按权利要求1所述的冷却进气布局结构，其特征在于：所述进气管(4)的材料采用金属材料，直径为0.5英寸-1英寸。

5.按权利要求1所述的冷却进气布局结构，其特征在于：所述法兰(2)焊接于真空腔体(3)的底部。

6.按权利要求1-5任一项所述的冷却进气布局结构，其特征在于：所述冷却进气布局结构设置于真空腔体(3)的底部四角。

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