[发明专利]一种透明导电 TiO2/Ag/TiO2复合薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种透明导电TiO₂/Ag/TiO₂复合薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：将基底用洗洁精水溶液、无水乙醇、乙醚、丙酮、去离子水等清洗干净；

步骤2：将钛酸四丁酯和乙酸、无水乙醇搅拌混合，得到A溶液；将去离子水、无水乙醇、掺杂组分混合搅拌，得到B溶液；所述掺杂组分为Al、W、V、Nd、F的水溶性化合物中的一种或几种；

步骤3：将步骤2中B溶液滴加入A溶液中，搅拌混合均匀，形成溶胶；

步骤4：将步骤3中得到的溶胶在室温下陈化24小时以上，得到溶胶-凝胶；

步骤5：将步骤4中溶胶-凝胶涂布在步骤1的基底上；

步骤6：将步骤5得到的薄膜进行热处理，空气中热处理温度为50-300度，保温时间为10-30分钟，然后自然冷却；

步骤7：将步骤6中得到的薄膜放入电子束设备中蒸发一层Ag膜；

步骤8：将步骤4中溶胶-凝胶涂布在步骤7得到的薄膜上；

步骤9：将步骤8得到的薄膜进行热处理，空气中热处理温度50-300度，保温时间为10-30分钟，自然冷却。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述基底是玻璃、石英、硅片或者有机膜。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，钛酸四丁酯、无水乙醇、水、乙酸中的任意一种在总体积中的混合比例为0.5-80% 。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，在步骤6、步骤9中TiO₂薄膜厚度为10-50 nm。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤7中Ag膜的厚度为8-16 nm。

6.根据权利要求1中所述的制备方法，其特征在于，掺杂组分可以是Al、W、V、Nd、F的水溶性化合物中的一种、二种或三种；两种化合物混合时，每一种化合物的混合比例为0.5-60%；三种化合物混合时，每一种化合物的混合比例为0.5-50%。