[发明专利]测量装置以及测量方法有效
申请号: | 201210568682.7 | 申请日: | 2012-12-25 |
公开(公告)号: | CN103884424A | 公开(公告)日: | 2014-06-25 |
发明(设计)人: | 卓嘉弘;庄凯评;刘志祥;谢易辰;周森益;蔡伟雄 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | G01J1/42 | 分类号: | G01J1/42 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 测量 装置 以及 测量方法 | ||
1.一种测量装置,其特征在于,用以测量一晶片上的多个发光装置,包括:
一导电探针卡,放置于该晶片的至少一发光装置之上,以驱动该至少一发光装置,使该至少一发光装置发出一入射光并穿过该导电探针卡;
一光学接收模块,用以接收穿过该导电探针卡的该入射光;
一分光模块,将该入射光转换为一光谱信号;以及
一数据处理模块,依据该光谱信号计算出一光学参数。
2.根据权利要求1所述的测量装置,其特征在于,该分光模块为一光谱仪,用以根据以多个不同的绕射角度,将该入射光所包含的不同波长的光束加以分开并且成像。
3.根据权利要求1所述的测量装置,其特征在于,该导电探针卡包括至少一组金属微线阵列单元,用以电性连接该发光装置。
4.根据权利要求1所述的测量装置,其特征在于,该导电探针卡为一透明的导电探针卡。
5.根据权利要求1所述的测量装置,其特征在于,该光学参数包括全光通量、色度或亮度的其中之一或其组合。
6.根据权利要求1所述的测量装置,其特征在于,该光学接收模块为一积分球。
7.根据权利要求1所述的测量装置,其特征在于,该导电探针卡是用以驱动该晶片上的一第一发光装置与一第二发光装置,该光学接收模块包括一第一积分球以及一第二积分球,以分别接收该第一发光装置与该第二发光装置所发出并穿过该导电探针卡的入射光。
8.根据权利要求6或7所述的测量装置,其特征在于,该积分球整合至该导电探针卡之上。
9.根据权利要求7所述的测量装置,其特征在于,还包括该数据处理模块用以控制该第一积分球与该第二积分球,使得该第一积分球与该第二积分球同步地移动,以分别对准该第一发光装置与该第二发光装置。
10.根据权利要求7所述的测量装置,其特征在于,还包括该数据处理模块用以控制该第一积分球与该第二积分球,使得该第一积分球与该第二积分球独立地移动,以分别对准该第一发光装置与该第二发光装置。
11.一种测量方法,其特征在于,应用于一测量装置,该测量装置包括一导电探针卡、一光学接收模块、一分光模块以及一数据处理单元,该测量方法包括:
放置该导电探针卡于一晶片的至少一发光装置之上;
通过该导电探针卡驱动该至少一发光装置,使得该至少一发光装置发出一入射光并穿过该导电探针卡;
通过该光学接收模块接收穿过该导电探针卡的该入射光;
通过该分光模块转换该入射光为光谱信号;以及
通过该数据处理单元依据该光谱信号计算出一光学参数。
12.根据权利要求11所述的测量方法,其特征在于,转换该入射光为光谱信号的步骤是通过一光谱仪,根据多个不同的绕射角度,将该入射光所包含的不同波长的光束加以分开并且成像。
13.根据权利要求11所述的测量方法,其特征在于,驱动该至少一发光装置的步骤是通过包括至少一组金属微线阵列单元的该导电探针卡,以电性连接该发光装置。
14.根据权利要求11所述的测量方法,其特征在于,驱动该至少一发光装置的步骤是通过一透明的导电探针卡驱动该至少一发光装置。
15.根据权利要求11所述的测量方法,其特征在于,该光学参数包括全光通量、色度或亮度的其中之一或其组合。
16.根据权利要求11所述的测量方法,其特征在于,接收该入射光的步骤包括通过该光学接收模块中的一积分球接收穿过该导电探针卡的该入射光。
17.根据权利要求11所述的测量方法,其特征在于,该导电探针卡是驱动该晶片的一第一发光装置与一第二发光装置,并且接收该入射光的步骤包括通过该光学接收模块中的一第一积分球与一第二积分球分别测量该第一发光装置与该第二发光装置所发出并穿过该导电探针卡的入射光。
18.根据权利要求16或17所述的测量方法,其特征在于,该积分球是整合至该导电探针卡之上。
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