[发明专利]一种热铟封封接装置

权利要求书

1.一种热铟封封接装置，包括铟封室(A)，所述铟封室内为真空状态，所述铟封室内的上方设置有上封接件放置装置(B)，下方设置有载物平台(3)，所述上封接件放置装置(B)用于放置上封接件，所述载物平台(3)用于放置下封接件，

其特征在于：还包括载物平台的升降调节组件，所述升降调节组件包括安装法兰(4)、升降法兰盘(8)、从动升降机构(9)及至少两个对称设置在从动升降机构(9)周围的主动升降机构(6)，

所述安装法兰(4)与铟封室底部的铟封室法兰(F)固定连接，所述升降法兰盘(8)位于安装法兰(4)下方且与安装法兰(4)平行，

所述主动升降机构(6)包括轴承定位块(61)、升降螺杆(63)、螺杆导向套(64)、手轮(65)、轴承(62)，所述轴承定位块(61)与安装法兰(4)下底面固定连接，所述螺杆导向套(64)与升降法兰盘(8)连接，所述升降螺杆(63)的下端与升降手轮(65)固定连接，所述升降螺杆(63)的上端穿过螺杆导向套(64)伸入升降轴承定位块(61)，所述升降螺杆(63)与螺杆导向套(64)螺纹连接，所述轴承(62)设置在升降螺杆(63)的上端部与轴承定位块(61)之间，

所述从动升降机构(9)包括波纹管(5)、磁力转动杆(91)、限位管(96)、磁力转动部件，所述波纹管(5)密封连接在安装法兰(4)和升降法兰盘(8)之间，所述限位管(96)的上端与升降法兰盘(8)固定连接，所述限位管(96)的下端设置有密封堵头，所述磁力转动杆(91)的下端抵在密封堵头上，其上部依次穿过限位管(96)、升降法兰盘(8)、波纹管(5)、安装法兰(4)后与载物平台(3)固定连接；所述磁力转动部件包括套装在限位管(96)外的磁力转动手柄(10)、位于限位管(96)内且均匀设置在磁力转动杆(91)上与磁力转动杆连为一体的多个转动块(98)，所述相邻两个转动块(98)之间放置有磁铁(94)，所述磁力转动手柄(10)由磁铁块和金属块间隔组成。

2.根据权利要求1所述的热铟封封接装置，其特征在于：还包括至少一个导向机构(7)，所述导向机构(7)包括导向套(72)及导向杆(71)，所述导向套(72)与升降法兰盘(8)固定连接，所述导向杆(71)的上端与安装法兰(4)固定连接，其下端放置于导向套(72)内且与导向套(72)滑动配合。

3.根据权利要求1或2所述的热铟封封接装置，其特征在于：还包括安装于磁力转动杆(91)上的上轴承(95)、下轴承(97)及轴承定位环(93)，所述上轴承(95)及下轴承(97)分别位于磁力转动块(98)上下两侧，所述轴承定位环(93)位于上轴承(95)和限位管(96)上端面之间。

4.根据权利要求3所述的热铟封封接装置，其特征在于：所述主动升降机构和导向机构间隔设置。