[发明专利]镀膜方法及装置有效
申请号: | 201210562933.0 | 申请日: | 2012-12-21 |
公开(公告)号: | CN103014672A | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
发明(设计)人: | 郑文达;吴础任 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 胡海国 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 镀膜 方法 装置 | ||
1.一种镀膜方法,其特征在于,包括步骤:
对待镀件的待镀膜区加热;
在所述待镀件加热后的待镀膜区镀膜。
2.根据权利要求1所述的镀膜方法,其特征在于,所述对待镀件的待镀膜区加热包括:
利用激光加热装置或电阻加热装置对待镀件的待镀膜区加热。
3.根据权利要求1所述的镀膜方法,其特征在于,所述对待镀件的待镀膜区加热包括:
发射激光并把该激光汇聚于待镀件的待镀膜区,以对该待镀膜区加热。
4.根据权利要求1所述的待镀膜方法,其特征在于,所述对待镀件的待镀膜区加热包括:
加热气体并把加热后的气体吹向待镀件的待镀膜区,以对该待镀膜区加热。
5.一种镀膜装置,其特征在于,包括加热单元和镀膜单元,所述加热单元用于对待镀件的待镀膜区加热,所述镀膜单元用于在待镀件加热后的待镀膜区镀膜。
6.根据权利要求5所述的镀膜装置,其特征在于,所述加热单元为激光加热单元或电阻加热单元。
7.根据权利要求5所述的镀膜装置,其特征在于,所述加热单元为激光加热单元,包括激光发射器和聚光件,所述激光发射器发射的激光经聚光件汇聚后照射于所述待镀件的待镀膜区。
8.根据权利要求7所述的镀膜装置,其特征在于,所述镀膜单元包括一阻隔玻璃,所述激光加热单元和镀膜单元位于所述待镀件的同一侧,且所述阻隔玻璃采用聚光玻璃以充当所述激光加热单元的聚光件。
9.根据权利要求5所述的镀膜装置,其特征在于,所述加热单元为电阻加热单元,包括导热管、设于导热管内的发热电阻和鼓风件,所述鼓风件对所述导热管内部吹风,吹入的气体被发热电阻加热后经导热管导向所述待镀件的待镀膜区。
10.根据权利要求5项所述的镀膜装置,其特征在于,所述加热单元和镀膜单元并列设置位于所述待镀件的同一侧或相对设置分置于所述待镀件的两侧。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的