[发明专利]惰性气体注入设备及惰性气体注入方法

说明书

技术领域

本发明涉及惰性气体注入设备、以及利用这样的惰性气体注入设备的惰性气体注入方法，所述惰性气体注入设备具备：注入装置，设在支承收存基板的容器的支承部上，以使上述容器内的气体从上述容器的排气口向外部排出的状态从上述容器的供气口将惰性气体向上述容器的内部注入；控制装置，控制上述注入装置的动作。

背景技术

为了抑制在基板（例如半导体晶片）上附着微粒、此外抑制因氧或湿度而基板从适当状态恶化，为了向收存基板的容器注入惰性气体而使用上述那样的惰性气体注入设备。

即，随着从收存基板的容器的供气口注入惰性气体，容器内的气体被从排气口向外部排出，容器内成为被注入的惰性气体充满的状态。因此，能够抑制在基板上附着微粒、以及因氧或湿度而基板从适当状态恶化。

在特开2006－86308号公报（专利文献1）中，公开了这样的惰性气体注入设备的一例，在该惰性气体注入设备中，向作为容器的箱以目标流量（10升/分钟）注入作为惰性气体的氮气。

顺便说一下，在专利文献1中，在供气口中装备有容许氮气以比大气压稍大的压力向容器内流入的阀，在排气口中装备有容许容器内的气体以比大气压稍大的压力流出的阀。

并且，记载有在将氮气向容器内注入5分钟后、在将注入停止的状态下保管的技术。

即，在专利文献1中，记载有在与保管箱的箱搁板不同的部位设置为了注入氮气而支承箱的加气站、将由加气站注入氮气后的箱保管到箱搁板上的技术。

在特开平11－168135号公报（专利文献2）中，公开了惰性气体注入设备的另一例。在该惰性气体注入设备中，以向作为容器的箱将作为惰性气体的氮气供给设定供给时间的期间、然后在设定停止时间的期间中将氮气的供给停止、如果经过设定停止时间则再次将氮气供给设定供给时间的期间的形态，将氮气向箱间歇地供给（例如，参照专利文献2（段落［0101］～［0118］））。

顺便说一下，在专利文献2中，记载有向支承在保管装置的搁板上的箱注入氮气的技术。

并且，虽然没有关于将氮气向箱供给时的目标流量的说明，但记载有，当将氮气向箱供给时，如果将气体供给阀打开，则供给作为目标流量的一定流量的氮气。

另外，在专利文献2中，还记载有也可以代替将氮气间歇地供给而使将氮气向箱供给的状态持续。

在专利文献1及专利文献2的惰性气体注入设备中，在向容器注入惰性气体时，将目标流量的惰性气体一下子注入。即，向容器的惰性气体的供给量瞬间或分步地增加到目标流量。因此，在注入的开始时，有可能因为容器内的基板振动、存在于基板的背面上的溶剂掉落、掉落的溶剂附着到位于下方的别的基板的表面上，基板从适当状态恶化。此外，在注入的开始时，还有可能堆积在容器的底部的微粒浮起而附着到基板上。

另外，作为溶剂，例如有抗蚀处理的显影液等。

顺便说一下，容器内的基板的振动及微粒的浮起可以考虑主要是因为发生了容器内的气体的压力急剧较大增加后急剧下降的现象而产生的。

即，如果向容器注入目标流量的惰性气体，则容器内的气体从静止状态变化为流动状态。此时，由于容器内的气体不能从静止状态急剧地变化为流动状态，所以如果将目标流量的惰性气体一下子注入，则发生容器内的气体的压力急剧地较大增加后急剧地下降的现象。并且，当容器内的气体的压力急剧地较大增加后下降时，在容器内的气体的流动中暂时性地发生急速的流动或紊流。

并且，如果发生容器内的气体的压力急剧地较大增加后下降的现象，则有可能在容器中发生振动、基板发生振动。此外，如果在容器内的气体的流动中暂时性地发生急速的流动或紊流，则因容器内的气体的流动而有可能基板振动或有可能堆积在容器的底部的微粒浮起。

顺便说一下，如果为了在惰性气体的注入开始后以短时间使容器内成为被惰性气体充满的状态而将目标流量设定为充分大的流量，则基板的振动发生及微粒的浮上的发生变得显著。

发明内容

鉴于上述背景，本发明期望实现一种当向容器注入惰性气体时能够避免基板从适当状态恶化及微粒附着到基板上的惰性气体注入设备。

本发明的惰性气体注入设备，具备：注入装置，设在支承收存基板的容器的支承部上，以从上述容器的排气口使上述容器内的气体向外部排出的状态，从上述容器的供气口将惰性气体向上述容器的内部注入；控制装置，控制上述注入装置的动作；这里，上述注入装置可变更上述惰性气体的供给流量而构成；上述控制装置构成为，在向支承在上述支承部上的上述容器供给上述惰性气体时，控制上述注入装置的动作，以使上述供给流量朝向目标流量逐渐增加。