[发明专利]惰性气体注入设备及惰性气体注入方法

权利要求书

1.一种惰性气体注入设备，具备：

注入装置，设在支承收存基板的容器的支承部上，以从上述容器的排气口使上述容器内的气体向外部排出的状态，从上述容器的供气口将惰性气体向上述容器的内部注入；

控制装置，控制上述注入装置的动作；

其特征在于，

上述注入装置可变更上述惰性气体的供给流量而构成；

上述控制装置构成为，在向支承在上述支承部上的上述容器供给上述惰性气体时，控制上述注入装置的动作，以使上述供给流量朝向目标流量逐渐增加。

2.如权利要求1所述的惰性气体注入设备，其特征在于，

上述控制装置构成为，在上述容器被支承在上述支承部上后将上述惰性气体最初供给时，使上述供给流量从零朝向上述目标流量逐渐增加。

3.如权利要求1所述的惰性气体注入设备，其特征在于，

上述支承部是保管上述容器的保管搁板的收存部；

作为上述目标流量，设定初始目标流量和比该初始目标流量少的稳态目标流量；

上述控制装置构成为，当向支承在上述支承部上的上述容器供给上述惰性气体时，控制上述注入装置的动作，以在将上述供给流量调整为上述初始目标流量后将上述供给流量调整为上述稳态目标流量，并且在将上述供给流量向上述初始目标流量调整时，控制上述注入装置的动作，以使上述供给流量朝向上述初始目标流量逐渐增加。

4.如权利要求3所述的惰性气体注入设备，其特征在于，

上述控制装置构成为，在将上述供给流量从上述初始目标流量向上述稳态目标流量变更时，控制上述注入装置的动作，以使上述供给流量以比使上述供给流量朝向上述初始目标流量逐渐增加的情况下的上述供给流量的变化率高的变化率减少。

5.如权利要求3所述的惰性气体注入设备，其特征在于，

上述控制装置构成为，在将上述供给流量从上述初始目标流量变更为上述稳态目标流量后，控制上述注入装置的动作，以重复如果经过设定供给时间则将上述惰性气体的供给停止设定休止时间的期间的动作，并且在上述设定休止时间的经过后将上述供给流量向上述稳态目标流量调整时，控制上述注入装置的动作，以使上述供给流量朝向上述稳态目标流量逐渐增加。

6.如权利要求1～5中任一项所述的惰性气体注入设备，其特征在于，

上述控制装置构成为，在使上述供给流量逐渐增加时，控制上述注入装置的动作，以使得每经过设定等待时间则使上述供给流量增加设定量。

7.如权利要求6所述的惰性气体注入设备，其特征在于，

还具备将上述设定量变更设定的人为操作式的设定装置。

8.一种惰性气体注入方法，是利用惰性气体注入设备的惰性气体注入方法，其特征在于，

上述惰性气体注入设备具备：

注入装置，设在支承收存基板的容器的支承部上，以从上述容器的排气口使上述容器内的气体向外部排出的状态，从上述容器的供气口将惰性气体向上述容器的内部注入；

控制装置，控制上述注入装置的动作；

上述注入装置可匹配于从上述控制装置指令的流量指令来变更上述惰性气体的供给流量而构成；

上述惰性气体注入方法包括由上述控制装置执行的以下的工序：在向支承在上述支承部上的上述容器供给上述惰性气体时、对上述注入装置指令朝向目标流量逐渐增加的流量指令的流量渐增工序。

9.如权利要求8所述的惰性气体注入方法，其特征在于，

在上述流量渐增工序中，在上述容器被支承在上述支承部上后将上述惰性气体最初供给时，对上述注入装置指令从零朝向上述目标流量逐渐增加的流量指令。

10.如权利要求8所述的惰性气体注入方法，其特征在于，

上述支承部是保管上述容器的保管搁板的收存部；

作为由上述控制装置执行的工序，还包括在向支承在上述支承部上的上述容器供给上述惰性气体时、在将上述供给流量调整为初始目标流量后将上述供给流量向比上述初始目标流量少的稳态目标流量调整的流量调整工序；

在上述流量调整工序中，在将上述供给流量向上述初始目标流量调整时，将上述初始目标流量作为上述目标流量执行上述流量渐增工序。