[发明专利]试样腐蚀形貌原位显微观察装置及方法

权利要求书

1.一种试样腐蚀形貌原位显微观察装置，其特征在于该装置包括试样仓（2）和游标（4），试样仓（2）由其上部的透明封闭窗（8）通过紧固螺丝（9）紧固在试样架（1）上组合而成，试样仓（2）侧部设置有螺旋紧固装置（5）和进/出气管（7）及其活塞（11），试样仓（2）上部边缘处设有标尺（3）及横、纵向游标（4），游标（4）中部带有狭缝（6）。

2.一种如权利要求1所述的试样腐蚀形貌原位显微观察装置其特征在于所述游标（4）设置为若干组外形尺寸相同，中部狭缝宽度不同的游标。

3.一种如权利要求1所述的试样腐蚀形貌原位显微观察装置其特征在于试样架（1）上部边缘设有支撑脚（10），支撑脚（10）高度高于游标（4）高度。 

4.一种如权利要求1、2或3所述的试样腐蚀形貌原位显微观察装置的使用方法，其特征在于包括下列步骤：

(A).标记试样（12）位置，将有标记（13）的待观察试样（12）置于试样架（1）上，旋动紧固装置（5），将试样（12）紧密固定于试样仓（2）中，记下标记（13）与试样架（1）的相对位置，并向试样仓（2）内注入腐蚀介质；

(B).腐蚀过程进行到预定要求后，放掉腐蚀介质，打开透明封闭窗（8），移动横向及纵向游标（4），使两游标上狭缝（6）相交形成的方孔处于感兴趣观察点所在区域的正上方，利用横、纵游标（4）在标尺（3）上所处位置标注观察区域的位置坐标，使得物镜通过方孔对该区域进行观察；如在此过程中狭缝（6）相交成的方孔尺寸相对于观察点的尺寸过大，则可更换狭缝宽度更小的游标并按之前所记录的坐标调整其位置；

(C).观察结束后，向试样仓（2）中重新注入腐蚀介质并封闭透明封闭窗（8），下一次的原位观察，依据观察点所对应的位置信息对其进行定位即可，重复步骤 (B)。