[发明专利]用于制造光耦合装置的制造方法无效

申请号：	201210554082.5	申请日：	2012-12-19
公开（公告）号：	CN103885132A	公开（公告）日：	2014-06-25
发明（设计）人：	黄新舜	申请（专利权）人：	鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
主分类号：	G02B6/42	分类号：	G02B6/42;G02F1/035
代理公司：	暂无信息	代理人：	暂无信息
地址：	518109 广东省深圳市***	国省代码：	广东;44
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摘要：
搜索关键词：	用于制造耦合装置方法
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【说明书】：

技术领域

本发明涉及集成光学装置，特别涉及一种用于制造光耦合装置的制造方法。

背景技术

在集成光学里，光源与光学元件的耦合需要考虑的问题有：虽然集成光学普遍采用方向性较佳的激光作为光源，然而激光发出的光束仍具有一定的发散角，如果直接让光源与光学元件对接，光束中的发散光线将无法进入光学元件，光利用率低。因此，如何将光源耦合至光学元件以使发散的光束会聚入光学元件以提高光利用率是一个重要课题。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种用于制造可提高光利用率的光耦合装置的制造方法。

一种用于制造光耦合装置的制造方法，其包括：

提供一个平板光波导，该平板光波导包括一个顶面及一个与该顶面垂直连接的侧面，该侧面用于与一个激光光源对接且该激光光源发出的激光束垂直射入该侧面；

利用高折射率材料在该顶面镀上一层介质光栅薄膜，该介质光栅薄膜包括多条垂直于该侧面的条状部分；及

在该顶面形成一对条状电极，该对电极分别位于该介质光栅薄膜两侧，并平行于该多个条状部分。

如此，根据集成光学理论，该介质光栅薄膜与该平板光波导构成加载型光波导(strip/grating loaded waveguide)，该平板光波导加载该介质光栅薄膜的部分的等效折射率变大。如此，通过合理设置该介质光栅薄膜的结构，例如设置成啁啾光栅(chirped grating)便可构成一个啁啾光栅类型的衍射型光波导透镜。而该对电极可以加载调制电场从而通过电光效应改变该平板光波导的折射率，从而改变该衍射型光波导透镜的焦距，有效的将该激光束会聚入光学元件。

附图说明

图1为本发明较佳实施方式的制造方法制造的光耦合装置的工作状态示意图。

图2为图1的光耦合装置沿线II-II的剖面示意图。

图3至图8为本发明较佳实施方式的制造方法的各个步骤的示意图。

主要元件符号说明