[发明专利]激光退火装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种激光退火装置(laser annealing apparatus)，且更具体地说，涉及一种能够使用双切割器提高激光束的加工精度的激光退火装置。

背景技术

通常，具有长边和短边的矩形玻璃基板被用作平板显示器件，例如有机发光二极管显示器的基板。

这种玻璃基板承受包括清洁、激光退火、曝光以及蚀刻的各种制作工艺以制造成为用于平板显示器件的基板。

通过退火装置进行退火。退火装置使激光束透过腔体的上表面发射至基板以使该基板结晶化。

本发明的相关技术在题目为“激光退火装置”的韩国专利No.10-0780291(2007年11月22日登记)中公开。

常规退火装置被配置为使用单个切割器阻挡激光束，引起激光束的严重衍射，且因此使得难以精确地执行激光束的扫描操作。

因此，需要一种克服了这种问题的激光退火装置。

发明内容

本发明用于解决本领域中的这种问题且本发明的一个方面是提供一种激光退火装置，该激光退火装置利用双切割器抑制激光束的衍射以精确地扫描基板。

根据本发明的一个方面，激光退火装置包括：底板单元，所述底板单元具有激光束透过的入射口；顶板单元，所述顶板单元放置在所述底板单元上且具有用于覆盖所述入射口的透明窗；第一切割器单元，所述第一切割器单元安装在所述顶板单元上且部分阻挡所述激光束；以及第二切割器单元，所述第二切割器单元安装在所述底板单元上且部分阻挡已经透过所述入射口的所述激光束。

所述底板单元可包括：底板，所述底板布置在腔体的上侧处且具有所述入射口；以及安装槽，所述安装槽形成于所述底板上以与所述入射口连通，所述第二切割器单元安装在所述安装槽上。

所述第一切割器单元可包括：切割器轨道，所述切割器轨道安装在所述底板上；移动板，所述移动板能沿所述切割器轨道移动；第一切割器，所述第一切割器联接到所述移动板以朝向所述透明窗凸出，并且阻挡所述激光束的周界(periphery)；以及第一致动器，所述第一致动器联接至所述底板且连接至所述移动板以具有可变的长度。

所述第二切割器单元可包括：第二致动器放置于所述安装槽上以具有可变的长度；以及第二切割器，所述第二切割器联接至所述第二致动器且阻挡所述激光束的周界。

所述第二切割器可具有形成于所述第二切割器的下表面的一个端部处的倾斜表面。

所述第二切割器可形成有标记孔。

在根据本发明的激光退火装置中，所述第一切割器单元和所述第二切割器单元双重切割(cut)激光束以抑制激光束的衍射，从而提高激光束在基板上的扫描操作的精度。

在根据本发明的激光退火装置中，所述第一切割器单元和所述第二切割器单元通过所述致动器精确地控制，从而改进激光束扫描操作的精度。

在根据本发明的激光退火装置中，形成于所述第二切割器的下表面上的所述倾斜表面可抑制激光束的衍射。

在根据本发明的激光退火装置中，所述第二切割器被提供有标记孔，从而消除了额外的基板标记步骤。

附图说明

从下面结合相应附图给出的实施例的描述，本发明的上述和其他方面、特征以及优点将更加明显，其中：

图1为根据本发明的一个实施例的激光退火装置的透视图；

图2为未运行的根据本发明的实施例的激光退火装置的第二切割器单元的截面视图；

图3为根据本发明的实施例的激光退火装置的部分阻挡激光束的第二切割器单元的截面视图；以及

图4为根据本发明的实施例的激光退火装置的第二切割器的示意图。

具体实施方式

以下，将参照附图描述本发明的示例性实施例。需要注意的是：附图不是精确的尺寸且仅仅为了描绘的方便和清晰，线条的厚度或组件的尺寸可能是夸大的。在本文中所使用的单数形式“一(a)”、“一(an)”、以及“所述(the)”也可包括复数形式，除非有其他清楚限定。

此外，本文中所使用的术语在考虑本发明的功能的基础上来界定并可根据使用者或操作者的习惯或目的而改变。因此，应该根据本发明中所有详述的内容来得到术语的界定。

图1为根据本发明的一个实施例的激光退火装置的透视图；图2为未运行的根据本发明的实施例的激光退火装置的第二切割器单元的截面视图；图3为根据本发明的实施例的激光退火装置的部分阻挡激光束的第二切割器单元的截面视图；以及图4为根据本发明的实施例的激光退火装置的第二切割器的示意图。