[发明专利]激光退火装置

权利要求书

1.一种激光退火装置，包括：

底板单元，所述底板单元具有激光束透过的入射口；

顶板单元，所述顶板单元放置在所述底板单元上且具有用于覆盖所述入射口的透明窗；

第一切割器单元，所述第一切割器单元安装在所述顶板单元上且部分阻挡所述激光束；以及

第二切割器单元，所述第二切割器单元安装在所述底板单元上且部分阻挡已经透过所述入射口的所述激光束。

2.根据权利要求1所述的激光退火装置，其中，所述底板单元包括：

底板，所述底板布置在腔体的上侧处且具有所述入射口；以及安装槽，所述安装槽形成于所述底板上以与所述入射口连通，所述第二切割器单元安装在所述安装槽上。

3.根据权利要求2所述的激光退火装置，其中，所述第一切割器单元包括：

切割器轨道，所述切割器轨道安装在所述底板上；移动板，所述移动板能沿所述切割器轨道移动；第一切割器，所述第一切割器联接至所述移动板以朝向所述透明窗凸出，并且阻挡所述激光束的周界；以及第一致动器，所述第一致动器联接至所述底板且连接至所述移动板以具有可变的长度。

4.根据权利要求2所述的激光退火装置，其中，所述第二切割器单元包括：

第二致动器，所述第二致动器放置于所述安装槽上以具有可变的长度；以及第二切割器，所述第二切割器联接至所述第二致动器并阻挡所述激光束的周界。

5.根据权利要求4所述的激光退火装置，其中，第二切割器具有形成于所述第二切割器的下表面的一个端部处的倾斜表面。

6.根据权利要求4所述的激光退火装置，其中，所述第二切割器形成有标记孔。