[发明专利]一种基板接合装置及基板接合方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种基板接合装置及基板接合方法，更具体地，涉及在基板接合时能够防止在接合过程中产生的气泡，并且能够缩短接合时间，从而能够提高整体工艺收率。

背景技术

通常，平板显示元件以使用的物质为基准可区分为使用无机物的元件和使用有机物的元件。使用无机物的元件包括作为荧光体的利用光激发光(PL,Photo Luminescence)的等离子显示板(PDP,Plasma Display Panel)和利用阴极发光(CE,Cathode Luminescence)的视野发射显示器(FED,Field Emission Display)等，并且使用有机物的元件包括在各种领域广泛使用的液晶显示装置(LCD,Liquid Crystal Display)以及有机发光显示装置(OLED,Organic Light Emitting Display)等。

上述有机发光显示装置具有使用小分子量的功能性单分子的低分子有机发光显示装置和使用大分子量的高分子的高分子有机发光显示装置，与目前被广泛商品化的液晶显示装置相比，具有约30,000倍以上的迅速的应答速度，从而可显示视频，并且具有自行发光而扩大视野并可产生高亮度的优点，从而被瞩目为下一代的显示装置。

并且，触摸面板是一种计算机周边装置，其安装在电子射线管(CRT,Cathode Ray Tube)、液晶显示装置(LCD,Liquid Crystal Display)、视野发射显示器(FED,Field Emission Display)、等离子显示板(PDP,Plasma Display Panel)及电发光装置(ELD,Electro Luminescence Device)等图像显示装置的显示面中，从而用户观看图像显示装置的同时，对触摸面板进行加压，从而向电脑输入事先设定的信息。

将内置有触摸功能的移动手机作为典型的触摸面板，上述触摸面板是如上所述的显示一体型输入装置，在记录笔或者手指进行加压的位置上产生电压或者电流信号，从而输入用户所指定的命令或者图表信息。最近在平板显示装置中主要使用与液晶面板形成为一体的模拟输入方式的电阻膜方式的触摸面板。通常的液晶面板对注入于两张玻璃基板之间的液晶单元的光的透射比进行调节，从而显示图像。各个液晶单元调节对视频信号，换句话说，对所属像素信号进行应答而透过的光亮。

如上所示，为了对显示一体型触摸面板进行接合，从而通常在真空周围实现接合，因此存在如下问题：在工艺进行过程中在形成真空周围的时间和排气过程中需要很多时间，从而降低整体工艺生产率。

另外，存在如下问题：在将显示面板和触摸面板进行接合时，在相互接触面涂覆粘合剂，从而在整体面积上形成均匀的涂覆层时产生气泡，上述粘合剂在涂覆有粘合剂的状态下进行处理工艺。

发明内容

本发明的目的是为了改善如上所示的现有的特性而提出的，其提供一种基板接合装置以及基板接合方法，其中，在基板接合时能够防止在接合过程中产生的气泡，并且能够缩短接合时间，从而扩大整体工艺的生产率。

本发明为了实现上述的目的，从而具有如下构成。

本发明的基板接合装置，包括：基架，其位于基底上，并且对从外部进入的第一基板进行排列安装并固定；基板夹紧部，其位于上述基架的上部，从而对从外部进入的第二基板进行夹紧，以便接合于上述第一基板；水平驱动部，其对上述基板夹紧部进行水平驱动；第一垂直驱动部，其位于上述基底上，并且连接于上述水平驱动部，从而对上述水平驱动部进行垂直运动；第一、第二加压装置，其设置于上述基板夹紧部位置，从而将夹紧于上述基板夹紧部的第二基板向上述第一板侧进行加压；第二垂直驱动部，其在垂直地位于上述第一垂直驱动部的状态下，对上述第一加压装置向垂直方向进行驱动；以及，第三垂直驱动部，其设置于上述第二垂直驱动部，从而对上述第二加压装置向垂直方向进行驱动。

并且，上述第一、第二加压装置相互独立地进行驱动，并且对上述第二基板进行加压，从而将上述第一基板和第二基板进行接合。

另外，上述第一加压装置对上述第二基板的中央部分进行加压，并且上述第二加压装置对上述第二基板的整体面进行加压。

并且，上述第一、二加压装置中，在上述第一加压装置首先进行操作之后上述第二加压装置进行操作。

另外，上述第一、第二加压装置在基板夹紧部之后进行操作。

并且，上述基板夹紧部包括：夹紧台，其形成有能够插入第二基板的插入槽；支撑台，其固定有上述夹紧台；固定台，其将上述支撑台连接于上述第一垂直驱动部侧。