[发明专利]一种基板接合装置及基板接合方法

权利要求书

1.一种基板接合装置，其包括：

基架，其位于基底上，并且对从外部进入的第一基板进行排列安装并固定；

基板夹紧部，其位于上述基架的上部，从而对从外部进入的第二基板进行夹紧，以便接合于上述第一基板；

水平驱动部，其对上述基板夹紧部进行水平驱动；

第一垂直驱动部，其位于上述基底上，并且连接于上述水平驱动部，从而对上述水平驱动部进行垂直运动；

第一、第二加压装置，其设置于上述基板夹紧部位置，从而将夹紧于上述基板夹紧部的第二基板向上述第一板侧进行加压；

第二垂直驱动部，其在垂直地位于上述第一垂直驱动部的状态下，对上述第一加压装置向垂直方向进行驱动；以及，

第三垂直驱动部，其设置于上述第二垂直驱动部，从而对上述第二加压装置向垂直方向进行驱动。

2.根据权利要求1所述的一种基板接合装置，其中：

上述第一、第二加压装置相互独立地进行驱动，并且对上述第二基板进行加压，从而将上述第一基板和第二基板进行接合。

3.根据权利要求2所述的一种基板接合装置，其中：

上述第一加压装置对上述第二基板的中央部分进行加压，并且上述第二加压装置对上述第二基板的整体面进行加压。

4.根据权利要求2所述的一种基板接合装置，其中：

上述第一、二加压装置中，在上述第一加压装置首先进行操作之后上述第二加压装置进行操作。

5.根据权利要求1或4所述的一种基板接合装置，其中：

上述第一、第二加压装置在基板夹紧部之后进行操作。

6.根据权利要求1所述的一种基板接合装置，其中：

上述基板夹紧部包括：

夹紧台，其形成有能够插入第二基板的插入槽；

支撑台，其固定有上述夹紧台；

固定台，其将上述支撑台连接于上述第一垂直驱动部侧。

7.根据权利要求6所述的一种基板接合装置，其中：

上述插入槽的倾斜面越向内周面侧越倾斜。

8.根据权利要求6所述的一种基板接合装置，其中：

上述第一垂直驱动部包括：

支撑台，其支撑在上述基底；

发动机，其设置于上述支撑台上端；

驱动滑轮以及从动滑轮，其在设置于壳体内的状态下连接于上述发动机；

轴，其连接于上述从动滑轮，从而根据发动机驱动进行旋转；

轴连接台，其连接于上述轴，从而根据上述轴的旋转进行上升，并且使得上述夹紧部向垂直方向进行运动。

9.根据权利要求6所述的一种基板接合装置，其中：

上述第二垂直驱动部包括：

支撑台，其固定在上述基底；

发动机，其固定在上述支撑台；

轴，其根据联轴节与上述发动机进行连接而旋转；

轴支撑台，其在固定于上述支撑台的状态下支撑上述轴；

轴连接台，其连接于上述轴，从而根据轴的旋转进行升降；

固定台，其连接于上述轴连接台，从而支撑上述第三垂直驱动部。

10.根据权利要求1所述的一种基板接合装置，其中：

上述第三垂直驱动部包括：

驱动滚筒，其安装在上述第二垂直驱动部的固定台上面；

轨道支撑台，其连接于上述驱动滚筒杆；

多个垂直轨道，其在设置于上述驱动滚筒的周围的状态下，一侧固定于上述轨道支撑台，另一侧对上述固定台进行贯通并连接于上述第二加压装置；

向导，其在固定于上述固定台的状态下，对上述垂直轨道进行导向。

11.根据权利要求1或10所述的一种基板接合装置，其中：

上述第二加压装置包括加压支撑台和加压板，上述加压板设置于上述加压支撑台下面，并且上述加压板的表面具有弹性。

12.根据权利要求1所述的一种基板接合装置，其中：

上述第一加压装置的一侧端部构成为球面，并且上述球面具有弹性。