[发明专利]一种显示面板及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201210537805.0 申请日: 2012-12-12
公开(公告)号: CN103022050A 公开(公告)日: 2013-04-03
发明(设计)人: 张洪林;董霆 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L29/786;H01L21/77;G02F1/1362
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 黄志华
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 显示 面板 及其 制作方法
【权利要求书】:

1.一种显示面板,其特征在于,包括玻璃基板、信号线,以及信号线下方的栅绝缘层,该显示面板还包括:

位于该栅绝缘层和玻璃基板之间的栅极金属层。

2.如权利要求1所述的显示面板,其特征在于,该显示面板还包括:

用于将所述栅极金属层与栅极高压相连的连接线。

3.一种液晶显示器,其特征在于,包括权利要求1或2所述的显示面板。

4.一种用于生产权利要求1或2中的显示面板的掩模板,其特征在于,该掩模板在预设的信号线区域不透光。

5.一种显示面板的制作方法,其特征在于,该方法包括:

使用物理气相沉积的方法,在玻璃基板上形成栅极金属层;

为该栅极金属层设置用于连接栅极高压的连接线;

在栅极金属层上涂附光刻胶,并使用在预设的信号线区域不透光的掩模板对该光刻胶进行曝光;

显影并刻蚀该栅极金属层;

在栅极金属层上分别形成栅绝缘层、半导体层并掺杂半导体、源漏金属层以及绝缘层。

6.如权利要求5所述的方法,其特征在于,在形成源漏金属层后,该方法还包括:

光刻并刻蚀栅极金属上方的源漏金属层,形成源极和漏极。

7.如权利要求5所述的方法,其特征在于,在形成绝缘层后,该方法还包括:

在预设的铟锡金属氧化物ITO像素电极区域镀上ITO像素电极,除去漏极上方的部分绝缘层,将漏极与ITO像素电极连接。

8.如权利要求5所述的方法,其特征在于,所述栅极高压,为该显示面板的薄膜场效应晶体管TFT的开启电压Vgh

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