[发明专利]薄膜蒸镀设备和制造OLED显示装置的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种薄膜蒸镀设备和利用该设备制造OLED显示装置的方法。

背景技术

有机发光二极管显示装置（OLED，Organic Light-Emitting Diode）因其简单的纯固态装置件结构及其出色的图像质量，加上自发光、无视角障碍、低温特性好等优点，OLED显示装置已被认为继液晶显示、等离子显示装置之后最具市场价值的新一代平板显示装置。OLED的制作过程大都采用以玻璃为基板，利用薄膜蒸镀设备将多层薄膜相继沉积在玻璃基板上，其工艺一般为在玻璃基板上形成一透明阳极层，在阳极层上依次沉积空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和电子注入层，最后是金属阴极层，其中发光层依次为红、绿、蓝三种颜色，各层膜的厚度范围为纳米(nm)级别，所以它的总厚度在所有显示装置之中是最薄的。OLED显示装置利用从不同的片段发出的红光、绿光、蓝光来显示图像，因而在OLED显示装置上三个发光层必须沉积在不同的地方，而其它有机层和无机层则沉积在整个区域；将多层薄膜相继沉积在玻璃基板上，为了实现不同区域图案化的镀膜效果，在利用薄膜蒸镀设备进行蒸镀时掩模板也被应用在蒸镀制程中。

如图1所示，为一传统薄膜蒸镀设备的剖面结构示意图（衬底与掩模板贴合前），该设备包括：腔体10，蒸发源容置部件20，用于容置蒸发源21；掩模板30及掩膜版30上设置的若干个开口31、用于承载掩模板30的框架40以及用于承载框架的平台50；压板61以及带动压板上下移动的移动机构60；衬底70及用于承接衬底的衬底承接夹具80。在利用此设备进行薄膜蒸镀时，需要将衬底70与掩模板30贴合在一起，并且在整个蒸镀制程中衬底承接夹具80必须始终承接住衬底70的下边缘，以便于蒸镀制程结束后将衬底70和掩模板30分离，如图2所示。框架40承载掩模板30的表面延伸出掩模板30之外，但为了使掩模板30和衬底70能够紧密的贴合，框架40的外形结构必须和衬底承接夹具80的外形结构相配合，也就是说框架40的俯视面上需要设置部分凹槽41以便留出空间来容置衬底承接夹具80，如图3所示。因此衬底70的每个边缘必然延伸出其相应侧的掩模板30开口区边缘一预设距离，此距离范围为15mm~16mm。在此区域的衬底上无法蒸镀上薄膜材料，因此降低了衬底的有效使用面积。此外，框架40外形结构的设计受到限制，由于在俯视面上设置有部分凹槽41，因此框架40的强度也较低，在掩模板30张网后容易产生变形。

因此，急需一种新的薄膜蒸镀设备，提高衬底的有效使用面积及提高用于承载掩模板的框架的强度。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种可以提高衬底的有效使用面积及提高用于承载掩模板的框架的强度的薄膜蒸镀设备和利用该设备来制造OLED显示装置的方法。

   为实现上述目的，本发明实施例公开了以下技术方案：

一种薄膜蒸镀设备，用于在衬底上蒸镀薄膜，包括：

    腔体；所述腔体内设置有：

蒸发源容置部件，用于容置蒸发源；

压板及带动所述压板上下移动的移动机构；

衬底承接夹具，用于承接所述衬底；

框架，用于承载掩模板；

其特征在于：

所述压板面向所述蒸发源容置部件的表面上设置有静电薄膜层，用于利用静电吸附的方式将所述衬底平整地吸附在所述压板上。

优选的，所述静电薄膜层背向所述压板的表面上设置有保护层，用于保护静电薄膜层免于受到损坏。

优选的，所述保护层的材料为聚酰亚胺。

    优选的，所述掩膜板设置于所述框架上。

    优选的，所述框架承载所述掩模板的表面延伸出所述掩模板之外。

优选的，所述框架是有四段六面体相互垂直连接构成的一中间镂空的封闭结构。

优选的，所述每一段六面体的内侧面是与水平面成锐角的斜面。

优选的，所述每一段六面体的上表面和外侧面均是一平面矩形且相互垂直。

优选的，所述衬底设置于所述掩模板与所述压板之间。

优选的，该设备为OLED显示装置的一制造设备。

本发明实施例还公开了一种利用以上所述的薄膜蒸镀设备来制造OLED显示装置的方法，该方法包括：

       设置一蒸发源于所述蒸发源容置部件上；

       设置一掩模板于所述框架上；

机械手臂将一衬底传入所述腔体后，所述衬底承接夹具承接所述衬底；