[发明专利]薄膜蒸镀设备和制造OLED显示装置的方法

权利要求书

1.一种薄膜蒸镀设备，用于在衬底上蒸镀薄膜，包括：

    腔体；所述腔体内设置有：

蒸发源容置部件，用于容置蒸发源；

压板及带动所述压板上下移动的移动机构；

衬底承接夹具，用于承接所述衬底；

框架，用于承载掩模板；

其特征在于：

所述压板面向所述蒸发源容置部件的表面上设置有静电薄膜层，用于利用静电吸附的方式将所述衬底平整地吸附在所述压板上。

2.如权利要求1所述的薄膜蒸镀设备，其特征在于，所述静电薄膜层背向所述压板的表面上设置有保护层，用于保护静电薄膜层免于受到损坏。

3.如权利要求2所述的薄膜蒸镀设备，其特征在于，所述保护层的材料为聚酰亚胺。

4.如权利要求1所述的薄膜蒸镀设备，其特征在于，所述掩膜板设置于所述框架上。

5.如权利要求4所述的薄膜蒸镀设备，其特征在于，所述框架承载所述掩模板的表面延伸出所述掩模板之外。

6.如权利要求5所述的薄膜蒸镀设备，其特征在于，所述框架是有四段六面体相互垂直连接构成的一中间镂空的封闭结构。

7.如权利要求6所述的薄膜蒸镀设备，其特征在于，所述每一段六面体的内侧面是与水平面成锐角的斜面。

8.如权利要求7所述的薄膜蒸镀设备，其特征在于，所述每一段六面体的上表面和外侧面均是一平面矩形且相互垂直。

9.如权利要求8所述的薄膜蒸镀设备，其特征在于，所述衬底设置于所述掩模板与所述压板之间。

10.如权利要求1-9中任意一项所述的薄膜蒸镀设备，其特征在于，该设备为OLED显示装置的一制造设备。

11.一种利用权利要求1-9任一项所述的薄膜蒸镀设备来制造OLED显示装置的方法，包括：

   设置一蒸发源于所述蒸发源容置部件上；

   设置一掩模板于所述框架上；

机械手臂将一衬底传入所述腔体后，所述衬底承接夹具承接所述衬底；

所述移动机构带动所述压板向下移动接近所述衬底，利用所述静电薄膜层的静电吸附的方式将所述衬底平整地吸附在所述压板上；

衬底承接夹具移出衬底边缘之外； 

通过所述移动机构的向下移动或/和所述框架的向上移动，使所述衬底与所述掩模板相贴合；

所述蒸发源通过所述掩模板向所述衬底蒸镀薄膜材料并在所述衬底下表面形成一薄膜层。

12.如权利要求11所述制造OLED显示装置的方法，其特征在于，所述衬底承接夹具平移出衬底边缘之外或旋转预定角度以移出衬底边缘之外。

13.如权利要求11所述制造OLED显示装置的方法，其特征在于，所述框架承载所述掩模板的表面延伸出所述掩模板之外。

14.如权利要求13所述制造OLED显示装置的方法，其特征在于，所述框架是有四段六面体相互垂直连接构成的一中间镂空的封闭结构。

15.如权利要求14所述制造OLED显示装置的方法，其特征在于，所述每一段六面体的内侧面是与水平面成锐角的斜面。

16.如权利要求15所述制造OLED显示装置的方法，其特征在于，所述每一段六面体的上表面和外侧面均是一平面矩形且相互垂直。

17.如权利要求11所述制备薄膜的方法，其特征在于，所述掩模板开口区边缘与其同侧最邻近的衬底边缘之间的距离范围为5mm~8mm。