[发明专利]一种空芯光纤气体填充速率的检测方法及装置

说明书

技术领域

本发明属于光纤传感领域，具体涉及一种基于四极质谱仪的光子晶体光纤气体填充速率检测的方法，该方法尤其适用于混合气体的填充速率的检测。

背景技术

随着社会经济的不断发展，人类生存的环境也受到不同程度的污染，尤其是各种有害气体和液体的任意排放，给人类造成很大威胁，这需要我们能及时有效的检测这些物质的排放，避免危害的发生。因此，研究各种气体的检测方法与气体传感器就成为传感技术发展领域的一个重要课题。自20世纪70年代以来，光纤传感器取得了飞速发展。传统光纤传感器一般由光源、光纤、光检测器和附加装置组成；种类繁多，按照不同的原理可分为不同的种类，比如：功能型和非功能型光纤传感器；传光型和传感型光纤传感器；分布式光纤传感器和光纤光栅传感器等。

光子晶体光纤由于其独特的性质也开始受到人们的格外关注，尤其是它在传感方面中的应用，也正是因为它的出现改进了传统的光纤传感器。它可以用来检测气体和液体的浓度、温度、静压力和张力等。光纤传感器的一个重要性能指标就是气体填充速率，填充速率越高，则光线传感器的响应时间越快。

在2002年Hoo和Jin等人(Y.L.Hoo，W.Jin,C.Shi,etal.Design andmodeling of a photonic crystal fiber gas sensor.Appl.Opt，2003，42(18):3509-3515)就对实芯光子晶体光纤倏逝波吸收气体的传感特性进行了研究，主要是让检测的气体填充到包层孔中，填充时牵扯到填充时间问题，要尽量减少填充时间，提高检测效率，利用光场渗透到包层中的倏逝波吸收气体进行检测。但是这种方法渗透到包层中的光场强度很小，所以检测灵敏度比较低。而利用空芯光子晶体光纤则有效的解决了这一问题。由于其纤芯是空的，所以要检测的气体可以直接通入纤芯中，填充时间要比利用实芯光子晶体光纤倏逝波检测快的多，并且由于光子带隙作用使光能在纤芯中传播，也加大了光和检测气体的相互作用，大大提高了检测的灵敏度。

由于气体填充速率的快慢取决于光纤内气体压强稳定所需的时间即气体填充时间，因此检测气体的填充时间是判断气体填充速率快慢的主要手段。目前对光子晶体光纤气体填充时间的检测主要由两种方法，即光学法和传统气压计法。光学法是基于比尔-朗伯定律测量出通光前后光强的变化，由变化得到物质的浓度，具有响应速度快、测量精确、无接触测量等优点。但是比尔-朗伯定律的成立是有前提的，即：（1）入射光为平行单色光且垂直照射；（2）吸光物质为均匀非散射体系；（3）吸光质点之间无相互作用；（4）辐射与物质之间的作用仅限于光吸收过程，无荧光和光化学现象发生。如果入射光不是单色平行光；或者被测介质不均匀，浓度过大；以及产生光化学反应等因素都将造成较大的测量误差。而传统气压计法一般采用气敏法对某种特定气体进行检测，通过在压电晶体表面涂覆一层选择性吸附某气体的气敏薄膜使得该气敏薄膜与待测气体相互作用引起膜层质量和导电率的变化，从而反映气体浓度的变化，因此气敏法具有气体选择性，不适合混合气体的检测，并且受温度影响较大。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基于四极质谱仪的光子晶体光纤气体填充速率的检测方法，能够实时监测混合气体的填充速率。

本发明的另一目的在于提供一种基于四极质谱仪的光子晶体光纤气体填充速率的检测装置，能够实时监测混合气体的填充速率。

一种空芯光纤气体填充速率的检测方法，具体为：将待测气体通入光子晶体光纤，四极质谱仪对输入光纤的气体进行采样分析，得到气体压强随时间变化的关系即为气体填充速率。

一种空芯光纤气体填充速率的检测装置，包括气腔、涡轮分子泵、转接口和四极质谱仪，气腔的一端连接涡轮分子泵，另一端连接光纤的输入端，光纤的输出端连接转接口的光纤接口，转接口的管道接口连接四极质谱仪。

进一步地，转接口的管道接口通过压降管道连接四极质谱仪。本发明的技术效果体现在：