[发明专利]一种空芯光纤气体填充速率的检测方法及装置

权利要求书

1.一种空芯光纤气体填充速率的检测方法，具体为：将待测气体通入光子晶体光纤，四极质谱仪对输入光纤的气体进行采样分析，得到气体压强随时间变化的关系即为气体填充速率。

2.一种空芯光纤气体填充速率的检测装置，包括气腔、涡轮分子泵、转接口和四极质谱仪，气腔的一端连接涡轮分子泵，另一端连接光纤的输入端，光纤的输出端连接转接口的光纤接口，转接口的管道接口连接四极质谱仪。

3.根据权利要求2所述的空芯光纤气体填充速率的检测装置，其特征在于，转接口的管道接口通过压降管道连接四极质谱仪。