[发明专利]阵列基板及其制备方法、液晶面板和显示装置有效
申请号: | 201210520128.1 | 申请日: | 2012-12-06 |
公开(公告)号: | CN103268049A | 公开(公告)日: | 2013-08-28 |
发明(设计)人: | 黄忠守;吴昊 | 申请(专利权)人: | 厦门天马微电子有限公司 |
主分类号: | G02F1/1368 | 分类号: | G02F1/1368;H01L29/43;H01L29/786;H01L27/12;H01L21/84 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 361101 福建省厦门市火*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 阵列 及其 制备 方法 液晶面板 显示装置 | ||
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种阵列基板及其制备方法和液晶面板、液晶显示装置。
背景技术
目前常用的平板显示器为液晶显示器,其中,低温多晶硅液晶显示器(LTPS LCD,Low Temperature Poly Silicon Liquid Crystal Display)是液晶显示器中的主流产品。
液晶面板是液晶显示器的重要部件,目前按照如下过程制作液晶面板:
步骤1、首先分别制作阵列(Array)基板和彩膜(CF,Color Filter)基板;
步骤2、通过对盒工艺将彩膜基板和阵列基板进行对盒,形成液晶面板。
其中,对盒工艺可以包括:通过液晶滴注(ODF,One Drop Filling)工艺在阵列基板或者彩膜基板中的任一基板上滴注液晶,在另一基板上涂敷封框胶,将阵列基板和彩膜基板进行对盒形成液晶面板,并对封框胶进行固化处理以使封框胶固化。
如图1所示,其为现有的液晶面板(panel)的结构示意图,包括:显示区域101、分布于该显示区域101四周的驱动电路102、及分布于显示区域101的外围且位于驱动电路102上的框胶区域103;其中,显示区域101包括由多条栅线(Gate line)及多条数据线(Data line)围设而成的多个像素单元,每个像素单元中的像素电极通过与其连接的一个TFT(Thin Film Transistor,薄膜晶体管)开关进行控制,从而显示图像;驱动电路102中也包括多个TFT,每个TFT与一条不同的栅线或数据线连接,通过TFT器件的控制,将驱动电压加载至对应的栅线或数据线,以实现对栅线或数据线的驱动。
如图2a所示,为现有技术中,阵列基板的周边电路区域的俯视图,图2b为图2a的AA方向截面结构示意图。该TFT依次包括位于玻璃基板20上的缓冲层(buffer)21,位于缓冲层21上的多晶硅层22,位于多晶硅层22上的栅绝缘层23(Gate Insulation,GI),位于栅绝缘层23上的电极绝缘层24,位于栅绝缘层23和电极绝缘层24之间的栅电极层25,以及位于栅电极层25两侧的源电极层26和漏电极层27,位于源电极层26和漏电极层27上的绝缘层28,其中,栅电极层26为金属材料制成。
高PPI(每英寸所拥有的像素)、窄边框是LTPS LCD的发展趋势,这就使集成在显示区域四周的驱动电路所占空间降低,即薄膜晶体管(TFT,Thin Film Transistor)器件密度相对增加,由于驱动电路所包含的TFT器件的栅极为金属材料制成,这使得位于驱动电路的封框胶区域下侧光透过率降低,封框胶固化效果差,引起封框胶与阵列基板和彩膜基板的接触部位出现缝隙,甚至出现封框胶脱落,从而影响了液晶面板的可靠性。
发明内容
本发明实施例提供一种阵列基板及其制备方法、液晶面板和显示装置,用以提高显示区域周围的驱动电路的透光率,进而增强封框胶的固化强度和粘附性,提高液晶面板的可靠性。
本发明实施例提供一种阵列基板,包括显示区域和设置于所述显示区域周边的驱动电路,所述显示区域和所述驱动电路均包含至少一个薄膜晶体管TFT,所述显示区域所包含的TFT的栅电极为导电材料,所述驱动电路所包含的TFT的栅电极为透明导电材料。
本发明实施例提供一种阵列基板制备方法,包括:
在玻璃基板上依次制备缓冲层、多晶硅层、栅绝缘层、电极绝缘层、源漏电极层、栅电极层和绝缘层,其中,所述栅电极层采用物理气相沉积法制备;或者
在玻璃基板上依次制备缓冲层、多晶硅层、栅绝缘层、电极绝缘层、源漏电极层、绝缘层和栅电极层,其中,所述栅电极层采用物理气相沉积法制备。
本发明实施例提供一种液晶面板,包括阵列基板、彩膜基板以及位于所述彩膜基板和阵列基板之间的液晶,其中,所述阵列基板包括显示区域和设置于所述显示区域周边的驱动电路,所述显示区域和所述驱动电路均包含至少一个薄膜晶体管TFT;所述显示区域所包含的TFT的栅电极为导电材料,所述驱动电路所包含的TFT的栅电极为透明导电材料。
本发明实施例提供一种显示装置,包括上述液晶面板。
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