[发明专利]一种遍历晶粒不规则区域的多区域图像检测方法有效
申请号: | 201210515505.2 | 申请日: | 2012-12-05 |
公开(公告)号: | CN103018154A | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
发明(设计)人: | 周庆亚;高建利;侯为萍;孟宪俊;周冉 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
主分类号: | G01N15/14 | 分类号: | G01N15/14;G01V8/10 |
代理公司: | 北京中建联合知识产权代理事务所 11004 | 代理人: | 朱丽岩;刘湘舟 |
地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 遍历 晶粒 不规则 区域 图像 检测 方法 | ||
技术领域
本发明涉及固晶机晶粒遍历方法技术领域,特别是涉及一种遍历晶粒不规则区域的多区域图像检测方法
背景技术
随着我国半导体照明产业的发展,国内半导体封装厂家和设备制造厂家迅速增加,在半导体封装设备中占据首道工序的固晶机更是快速发展,固晶机主要是把蓝膜上排列的晶粒通过机械手拾取并固定到支架上。因此,能够快速、准确、完整地把晶粒遍历一遍是固晶机的核心技术之一。
目前的晶粒遍历方法主要是单个晶粒依次遍历,即工作台步进一次,相机拍摄图像,图像处理算法只检查中间区域的一个晶粒的有无,并根据该晶粒的有无进行相关动作。该方法流程简单,但是由于单次步进只能检查一个晶粒,因而效率比较低。同时,由于是单个晶粒逐次遍历,无法预知遍历的路径是否存在晶粒,因此,单次遍历完所有区域内的晶粒的可能性降低,进而影响到整机的效率。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术的不足而提供一种遍历晶粒不规则区域的多区域图像检测方法,旨在解决现有的遍历晶粒方法单次只能检测单个晶粒,效率低下,并且无法预知遍历路径是否合理的问题,以提高单个晶粒遍历过程的速度,以提高整个区域遍历的完整性。
本发明是这样实现的,一种遍历晶粒不规则区域的多区域图像检测方法,包括以下步骤:
步骤一、通过图像采集设备采集晶粒承载工作台上的晶粒的图像输入设备控制计算机;
步骤二、所述设备控制计算机根据预先设置的晶粒模板信息对所述图像进行处理,按预设方法辨识所述图像中多个设定区域的晶粒分布情况和位置信息;
步骤三、所述设备控制计算机根据所述晶粒分布情况和位置信息,计算驱动所述晶粒承载工作台的电机的移动量,并根据所述移动量驱动所述晶粒承载工作台将识别到的晶粒送到分检装置分检。
所述的按预设方法辨识所述晶粒图像中设定区域的晶粒分布和位置信息的步骤如下:
首先,识别所述设定区域内的中间晶粒,计算驱动所述晶粒承载工作台的电机的移动量并根据所述移动量驱动所述晶粒承载工作台将识别到的所述中间晶粒送到分检装置分检;
其次,识别所述中间晶粒的下方(上方)晶粒,并将识别到的下方(上方)晶粒的位置保存;
再次,识别所述下方(上方)晶粒的右侧(左侧)晶粒,计算驱动所述晶粒承载工作台的电机的移动量并根据所述移动量驱动所述晶粒承载工作台将识别到的所述下方(上方)晶粒的右侧(左侧)晶粒送到分检装置分检。
当识别不到所述设定区域内的中间晶粒时,采取以下步骤:
判断识别不到中间晶粒的次数是否达到预设值,当达到预设值时,转到最后一次记录的下方(上方)晶粒位置处,触发图像采集设备采集晶粒图像;当未达到预设值时,则转到所述的识别所述下方(上方)晶粒的右侧(左侧)晶粒的步骤。
识别不到所述中间晶粒的下方(上方)晶粒时,直接转到识别所述下方(上方)晶粒的右侧(左侧)晶粒的步骤。
当识别不到所述下方(上方)晶粒的右侧(左侧)晶粒时,控制所述晶粒承载工作台一次走两个晶粒位置,进行晶粒遍历。
所述的图像采集设备为CCD相机。
本发明与现有技术相比,具有以下有益效果:
通过图像采集设备采集一次图像后一次分析处理该图像中的多个区域,充分利用了图像采集设备单次采集所收集到的信息;通过预先获取到下一个步进方向晶粒的位置,直接驱动工作台完成步进,提高了晶粒遍历过程的效率;通过预先判断出下一个方向晶粒的有无,有效避免了工作台无谓的空步进状况的出现;在整个晶粒区域遍历过程中,通过多个区域的判断,引导工作台的遍历跳转动作,防止工作台脱离晶粒区域,提高了单次晶粒区域遍历的完整性。
附图说明
图1 为本发明实施例提供的遍历晶粒不规则区域的多区域图像检测系统的结构图;
图2 所示为本发明实施例提供的遍历晶粒不规则区域的多区域图像检测方法的流程图;
图3 所示为本发明实施例提供的晶粒遍历示意图;
图中:1、设备控制计算机,2、电机运动控制卡,3、X向和Y向运动电机,4、晶粒承载工作台,5、图像采集卡,6、CCD相机。
具体实施方式
下面结合实例对本发明的实质性特点和优势作进一步的说明,但本发明并不局限于所列的实施例。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第四十五研究所,未经中国电子科技集团公司第四十五研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210515505.2/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种电表检测用的夹紧装置
- 下一篇:压缩气体管道快速连接头