[发明专利]双低温泵系统及其控制方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体集成电路领域，特别涉及一种应用于半导体晶圆制造的双低温泵系统及其控制方法。

背景技术

伴随集成电路制造工艺的不断进步，晶圆的产量也不断增加，作为物理气相沉积设备中用于将工艺腔抽至真空的低温泵是使工艺腔达到工艺真空条件的重要部件。

如图1所示，现有的工艺腔大多只配有一个低温泵，通过隔离阀连接于工艺腔，该低温泵用来抽真空以使工艺腔达到晶圆长膜的工艺环境，但在修理或维护低温泵时所对应的工艺腔就必须停止工作导致无法正常作业。低温泵维护需要的时间最少为6小时，如有其他的维护或者修理需要更长的时间，因此会影响到整个生产线的进度。

发明内容

本发明的主要目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种高效的双低温泵控制系统，以实现在低温泵进行维护时工艺腔能够正常工作，解决现有技术中当需要对低温泵进行维护时工艺腔无法连续工作的问题。

为达成上述目的，本发明提供一种双低温泵系统，工艺腔；第一低温泵，第一隔离阀以及第一抽气管，所述第一隔离阀与所述第一低温泵相连；所述第一抽气管连接于所述第一隔离阀与所述工艺腔之间；第二低温泵，第二隔离阀以及第二抽气管，所述第二隔离阀与所述第二低温泵相连；所述第二抽气管连接于所述第二隔离阀与所述工艺腔之间；以及控制单元，与所述第一隔离阀和第二隔离阀相连，所述控制单元判断所述第一低温泵是否满足维护条件，并在所述第一低温泵满足维护条件时关闭所述第一隔离阀同时打开所述第二隔离阀，其中所述维护条件为所述第一低温泵故障或所述第一低温泵的工作参数达到预设值。

优选的，所述控制单元包括检测单元，所述检测单元连接所述第一低温泵，所述第二低温泵，当所述检测单元检测到所述第一低温泵发生故障时，所述控制单元发出信号使所述第一低温泵停止运行，并关闭所述第一隔离阀同时打开所述第二隔离阀。

优选的，所述控制单元包括计数单元，所述计数单元连接所述第一低温泵以及所述第二低温泵；所述计数单元对所述第一低温泵及所述第二低温泵的工作参数计数，当所述第一低温泵的工作参数到达所述预设值时，所述计数单元停止对所述第一低温泵工作参数计数，所述控制单元发出信号使所述第一低温泵停止运行，并关闭所述第一隔离阀同时打开所述第二隔离阀。

优选的，所述控制单元还包括第一压力传感器和第二压力传感器，所述第一压力传感器连接所述第一低温泵和所述计数单元，用于检测所述第一低温泵的气压；所述第二压力传感器连接所述第二低温泵和所述计数单元，用于检测所述第二低温泵的气压；当所述第一压力传感器或第二压力传感器检测到所述第一低温泵或第二低温泵内的气压变化时，发出信号使所述计数单元开始对所述第一低温泵或第二低温泵的工作参数计数。

优选的，所述控制单元打开所述第一隔离阀或第二隔离阀的同时发送信号至所述计数单元使其开始对所述第一低温泵或第二低温泵的工作参数计数。

优选的，所述第一抽气管与第二抽气管通过焊接相连通。

优选的，所述第一抽气管与所述工艺腔、第一隔离阀、第一低温泵的连接方式为螺纹连接；所述第二抽气管与所述工艺腔、第二隔离阀、第二低温泵的连接方式为螺纹连接。

本发明还提供了一种双低温泵系统的控制方法，应用于具有第一低温泵和第二低温泵的双低温泵控制系统，所述第一低温泵通过第一隔离阀连接于工艺腔，所述第二低温泵通过第二隔离阀连接于工艺腔，所述运作方法包括以下步骤：打开所述第一隔离阀，关闭所述第二隔离阀，使所述第一低温泵对所述工艺腔进行抽气；判断所述第一低温泵是否满足维护条件，当满足维护条件时，关闭所述第一隔离阀同时打开所述第二隔离阀，使所述第二低温泵对所述工艺腔进行抽气；其中所述维护条件为所述第一低温泵故障或所述第一低温泵的工作参数达到预设值。

优选的，所述控制方法还包括当检测到所述第一低温泵的气压变化时，开始对所述第一低温泵的工作参数进行计数；当所述第一低温泵的工作参数达到预设值时，关闭所述第一隔离阀同时打开所述第二隔离阀使所述第二低温泵对所述工艺腔进行抽气。

优选的，所述控制方法还包括当所述第一隔离阀打开时，开始对所述第一低温泵的工作参数进行计数；当所述第一低温泵的工作参数达到预设值时，关闭所述第一隔离阀同时打开所述第二隔离阀使所述第二低温泵对所述工艺腔进行抽气。

优选的，所述控制方法还包括当所述第一低温泵的工作参数达到预设值时，停止所述第一低温泵运行，停止对所述第一低温泵的工作参数计数。