[发明专利]双低温泵系统及其控制方法

权利要求书

1.一种双低温泵系统，其特征在于，包括：

工艺腔；

第一低温泵，第一隔离阀以及第一抽气管，所述第一隔离阀与所述第一低温泵相连，所述第一抽气管连接于所述第一隔离阀与所述工艺腔之间；

第二低温泵，第二隔离阀以及第二抽气管，所述第二隔离阀与所述第二低温泵相连，所述第二抽气管连接于所述第二隔离阀与所述工艺腔之间；以及

控制单元，与所述第一隔离阀和第二隔离阀相连，所述控制单元判断所述第一低温泵是否满足维护条件，并在其维护条件时关闭所述第一隔离阀同时打开所述第二隔离阀，其中所述维护条件为所述第一低温泵故障或所述第一低温泵的工作参数达到预设值。

2.根据权利要求1所述的双低温泵系统，其特征在于，所述控制单元包括：

检测单元，连接所述第一低温泵和所述第二低温泵，用于检测所述第一低温泵和所述第二低温泵的工作状态；

判断单元，与所述检测单元相接，根据所述第一低温泵和所述第二低温泵的工作状态判断其是否满足维护条件；以及

执行单元，与所述判断单元，所述第一隔离阀和所述第二隔离阀相接，当所述第一低温泵的工作状态满足维护条件时，关闭所述第一隔离阀同时打开所述第二隔离阀。

3.根据权利要求2所述的双低温泵系统，其特征在于，所述检测单元包括计数模块，用以对所述第一低温泵及所述第二低温泵的工作参数计数。

4.根据权利要求4所述的双低温泵系统，其特征在于，所述判断单元比较所述第一低温泵工作参数的计数值及所述预设值，当所述第一低温泵工作参数的计数值达到所述预设值时，判断所述第一低温泵满足维护条件，所述判断单元发出信号使所述计数单元停止对所述第一低温泵工作参数计数。

5.根据权利要求5所述的双低温泵系统，其特征在于，所述检测单元还包括第一压力传感器和第二压力传感器，所述第一压力传感器连接所述第一低温泵和所述计数模块，用于检测所述第一低温泵的气压；所述第二压力传感器连接所述第二低温泵和所述计数模块，用于检测所述第二低温泵的气压；当所述第一压力传感器或第二压力传感器检测到所述第一低温泵或第二低温泵内的气压变化时，发出信号使所述计数模块开始对所述第一低温泵或第二低温泵的工作参数计数。

6.根据权利要求5所述的双低温泵系统，其特征在于，所述执行单元与所述计数单元相连，当所述执行单元打开所述第一隔离阀或第二隔离阀的同时发送信号至所述计数模块使其开始对所述第一低温泵或第二低温泵的工作参数计数。

7.根据权利要求1所述的双低温泵系统，其特征在于，所述控制单元包括：

故障检测单元，连接所述第一低温泵和所述第二低温泵，用于检测所述第一低温泵和所述第二低温泵是否发生故障；

执行单元，与所述故障检测单元，所述第一隔离阀和所述第二隔离阀相接，当所述第一低温泵发生故障时，关闭所述第一隔离阀同时打开所述第二隔离阀。

8.根据权利要求2或7所述的双低温泵系统，其特征在于，所述控制单元的执行单元与所述第一低温泵及所述第二低温泵相连，当所述判断单元判断所述第一低温泵满足维护条件时，所述执行单元停止所述第一低温泵运行。

9.根据权利要求1所述的双低温泵系统，其特征在于，

所述第一抽气管与第二抽气管通过焊接相连通。

10.根据权利要求1所述的双低温泵系统，其特征在于，所述第一抽气管与所述工艺腔、第一隔离阀、第一低温泵的连接方式为螺纹连接；所述第二抽气管与所述工艺腔、第二隔离阀、第二低温泵的连接方式为螺纹连接。

11.一种双低温泵系统的控制方法，应用于具有第一低温泵和第二低温泵的双低温泵控制系统，所述第一低温泵通过第一隔离阀连接于工艺腔，所述第二低温泵通过第二隔离阀连接于工艺腔，其特征在于，所述运作方法包括以下步骤：

打开所述第一隔离阀，关闭所述第二隔离阀，使所述第一低温泵对所述工艺腔进行抽气；

判断所述第一低温泵是否满足维护条件，当满足维护条件时，关闭所述第一隔离阀同时打开所述第二隔离阀，使所述第二低温泵对所述工艺腔进行抽气；

其中所述维护条件为所述第一低温泵故障或所述第一低温泵的工作参数达到预设值。