[发明专利]多路气体质谱分析中无拖尾现象的气体取样测试方法

权利要求书

1.多路气体质谱分析中无拖尾现象的气体取样测试方法，包括以下流程：

1）构建多路气体质谱分析的气体取样测试系统，该系统包括质谱分析仪，质谱分析仪的测试口连接有并联的清除阀与微孔或毛细管，清除阀与微孔或毛细管的另一端分别连接有并联的多个气路取样阀，储气容器中的被测气体通过气体过滤器后进入循环泵，再循环回到储气容器构成采样系统管路，多个气路取样阀的另一端分别对应连接到多种被测气体的多个采样系统管路的气体过滤器与循环泵之间；

2）启动质谱分析仪，待质谱分析仪读数稳定后，读取质谱分析仪的质谱读数初始值；

3）开启多种被测气体的多路采样系统管路上的循环泵进行采样；

4）打开清除阀，保持各个气路取样阀在关闭状态，对微孔或毛细管到各个气路取样阀之间的空间进行抽除，去除原来积留气体，待质谱分析仪质谱数据显示值回到初始值附近并稳定后，关闭清除阀完成本底清除；

5）打开某个待测气体的气路取样阀，待测试值稳定后，读取该路气体的质谱数据，测试完成后关闭该路气路取样阀；

6）打开清除阀，对微孔或毛细管到各路取样阀之间的空间进行抽除，去除原来积留的上一次测试气体，待质谱分析仪显示值回到初始值附近并稳定后，关闭清除阀，打开另一路待测气体的气路取样阀，待测试值稳定后，读取该路气体的质谱数据，测试完成后关闭该路气路取样阀，然后重复该步骤，逐步完成各路待测气体的测试工作。

2.如权利要求1所述的气体取样测试方法，其中，微孔或毛细管的出口压力必须低于质谱分析仪的测试入口的最大允许压力。

3.如权利要求2所述的气体取样测试方法，其中，微孔的大小或毛细管的内径和长度必须保证其出口压力低于测试入口的最大压力。

4.如权利要求1所述的气体取样测试方法，其中，各阀门必须保证内漏率远小于微孔或毛细管的流量。

5.如权利要求4所述的气体取样测试方法，其中，各阀门为内漏率低于1×10^－9Pa.m³/s的阀门。

6.如权利要求1-5任一项所述的气体取样测试方法，其中，各个循环泵入口端设置的气体过滤器为0.1微米的气体过滤器。

7.如权利要求1-5任一项所述的气体取样测试方法，其中，所述系统的各连接处必须保证密封，漏率低于1×10^－9Pa.m³/s。

8.如权利要求1-5任一项所述的气体取样测试方法，其中，各个阀门为手动阀门或电磁阀。

9.如权利要求1-5任一项所述的气体取样测试方法，其中，在微孔或毛细管两端并联一带清除阀的清除管路，并利用质谱分析仪自身真空系统的抽气功能，对微孔或毛细管上游空间进行抽空。

10.如权利要求1-5任一项所述的气体取样测试方法，其中，气路切换时，每一次测试前均开启清除阀对微孔或毛细管至各取样阀之间的空间进行抽空，清除上次测试的残留气体。