[发明专利]压印装置、使用该压印装置的物品制造方法和压印方法

权利要求书

1.一种压印装置，被配置为通过模具在基板上使未固化的树脂成形并使该树脂固化，并且在所述基板上的固化的树脂上形成图案，该压印装置包括： 

保持单元，被配置为通过使用包含多个吸附力产生部的吸附单元来保持模具； 

吸附力调整单元，被配置为能够调整所述多个吸附力产生部的吸附力；以及 

形状校正单元，被配置为通过向所述模具施加力来使所述模具的图案区域的形状与所述基板的基板侧图案区域的形状对准， 

其中，在通过使用所述形状校正单元向所述模具施加力的情况下，所述吸附力调整单元将向所述模具施加吸附的吸附表面的预定区域配置为吸附区域，并且，调整多个吸附力产生部的吸附力，使得其它区域上的吸附力比所述吸附区域上的吸附力小。 

2.根据权利要求1的压印装置，其中，所述预定区域是位于所述模具的与形成图案的表面相反的表面上的区域，并且，所述其它区域是与所述预定区域相比位置更靠近所述模具的端侧的区域。 

3.根据权利要求1的压印装置，其中，吸附力产生部包含吸气端口。 

4.根据权利要求3的压印装置，其中，吸附力调整单元将关于所述其它区域的吸气端口的吸附压力配置为大气压力。 

5.根据权利要求1的压印装置，其中，在通过形状校正单元沿一个轴向施加的力的量大于沿另一轴向施加的量时，沿所述另一轴向延伸以与所述图案区域相交的区域被配置为所述吸附区域。 

6.根据权利要求1的压印装置，其中，吸附力调整单元在接触的模具和基板上的树脂脱离之前增加所述其它区域中的吸附力。 

7.一种物品的制造方法，包括： 

通过使用压印装置在基板上形成树脂的图案；和 

加工具有在以上步骤中形成的图案的基板， 

其中，压印装置被配置为通过模具在基板上使未固化的树脂成形并使该树脂固化，并且在所述基板上的固化的树脂上形成图案，该压印装置包括： 

保持单元，被配置为通过使用包含多个吸附力产生部的吸附单元来保持模具； 

吸附力调整单元，被配置为调整所述多个吸附力产生部的吸附力；以及 

形状校正单元，被配置为通过向所述模具施加力来使所述模具的图案区域的形状与基板侧图案区域的形状对准， 

其中，在通过使用所述形状校正单元向所述模具施加力的情况下，所述吸附力调整单元将向所述模具施加吸附的吸附表面的预定区域配置为吸附区域，并且，调整所述多个吸附力产生部的吸附力，使得其它区域上的吸附力比所述吸附区域中的吸附力小。 

8.一种用于将在模具上形成的图案转印到基板上的树脂的压印方法，该方法包括： 

通过吸附来保持所述模具的与形成图案的表面相反的表面； 

使所述模具的上面形成有图案的区域变形； 

在所述模具的变形图案区域与基板上的树脂接触的配置中，使基板上的树脂固化；和 

使接触的模具和树脂脱离，并且其中， 

在使模具的图案区域变形时，以预定的吸附力保持与上面形成有图案的模具的表面相反的预定区域，并且，所述预定区域为使得其它区域以比所述预定的吸附力小的吸附力被保持。