[发明专利]一种钨管的制造方法

权利要求书

1.一种钨管的制造方法，其特征在于包括以下步骤：

1）将基材固定在沉积设备上，对基材直接通电加热，通入反应气体进行反应，反应开始后，提高电流，至反应结束；

2）反应结束后系统内改通保护气体，降温至室温；

3）将基材除去，即得钨管，所得钨管是一种壁厚均匀的纯钨管。

2.如权利要求1所述的一种钨管的制造方法，其特征在于在步骤1）中，所述基材采用直径为5～20mm，壁厚为0.5～1mm，长度<1500mm的不锈钢管或铜管。

3.如权利要求1所述的一种钨管的制造方法，其特征在于在步骤1）中，所述基材采用表面光滑的基材；所述基材的表面事先进行清洁和抛光处理，并用酒精擦拭表面后再固定在沉积设备上。

4.如权利要求1所述的一种钨管的制造方法，其特征在于在步骤1）中，所述反应的起始电流为10～40A，所述提高电流的速率为0.2～1.5A/min，所述反应的反应时间为2～3h，最终电流值为100～300A。

5.如权利要求1所述的一种钨管的制造方法，其特征在于在步骤1）中，所述通入反应气体的具体方法为：通过恒温配气系统通入反应气体，所述恒温配气系统包括原料瓶、保温箱、热风鼓风机、WF₆流量计、H₂流量计，温度为30～50℃。

6.如权利要求1所述的一种钨管的制造方法，其特征在于在步骤1）中，所述反应气体采用WF₆和H₂混合气体。

7.如权利要求1所述的一种钨管的制造方法，其特征在于在步骤1）中，所述WF₆的纯度大于99.9%，所述H₂的纯度大于99.9%，所述WF₆与H₂的体积比为WF₆∶H₂=1∶（1～4）；所述WF₆的流量为0.5～2L/min。

8.如权利要求1所述的一种钨管的制造方法，其特征在于在步骤1）中，所述H₂的流量为1～8L/min。

9.如权利要求1所述的一种钨管的制造方法，其特征在于在步骤2）中，所述保护气体采用氢气或氮气，保护气体的流量可为1～5L/min；所述降温的速率可为2～4℃/min，降温的时间可为2～5h。

10.如权利要求1所述的一种钨管的制造方法，其特征在于在步骤3）中，所述将基材除去的具体方法为：将基材冷却至零下40℃以下，利用基材和钨热膨胀系数的不同，使基材与钨管自然分离；或用浓度为30%的硝酸溶解除去基材。