[发明专利]一种晶圆干燥方法及装置

权利要求书

1.一种晶圆干燥方法，其特征是，该方法包括以下步骤：

S1：识别晶圆表面的图形和所述图形沟道的深度；

S2：根据所述晶圆表面的图形和所述图形沟道的深度设置吸液参考点；

S3：根据吸液参考点的位置将吸管调整到图形沟道的底部中点并吸液；

S4：吸液完成后对图形沟道进行气体干燥。

2.如权利要求1所述的方法，其特征是，所述进行气体干燥是通过氮气对图形沟道进行气体干燥。

3.一种实现权利要求1所述方法的晶圆干燥装置，其特征是，该装置包括：

图像检测模块，用于识别晶圆表面的图形和所述图形沟道的深度；

和图像检测模块连接的参数设置模块，用于根据所述识别晶圆表面的图形和所述图形沟道的深度设置吸液参考点；

和图像检测模块及参数设置模块连接的位置调整模块，用于根据所述识别晶圆表面的图形和图形沟道的深度对吸管的位置进行调整；

和位置调整模块连接的吸液模块，用于位置调整后的吸管吸取图形沟道内的液体；

和吸液模块连接的干燥模块，当吸液模块停止吸液后对晶圆表面进行气体干燥。

4.如权利要求3所述的装置，其特征是，所述图像检测模块和参数设置模块通过TCP/IP、WIFI、蓝牙或RS232/485中的一种或多种方式连接。

5.如权利要求3所述的装置，其特征是，所述吸液模块包括真空泵和与所述真空泵连接的吸管阵列面板。

6.如权利要求5所述的装置，其特征是，所述吸管阵列面板上有预定数量的吸管。

7.如权利要求6所述的装置，其特征是，所述吸管的材料包括玻璃、有机物或金属。

8.如权利要求6所述的装置，其特征是，所述吸管的长度为10微米到100微米。

9.如权利要求6所述的装置，其特征是，所述吸管的直径为65纳米到10微米。