[发明专利]单位掩模板及包括该单位掩模板的掩模板组装体

说明书

技术领域

本发明涉及单位掩模板及包括该单位掩模板的掩模板组装体，具体涉及在沉积有机发光层时所使用的单位掩模板及包括该单位掩模板的掩模板组装体。

背景技术

作为显示图像的装置，近年来有机发光显示装置(organic light emitting diode display)备受瞩目。

有机发光显示装置具有自发光特性，与液晶显示装置(liquid crystal display device)不同，有机发光显示装置不需要额外的光源，因此能够减小厚度和重量。另外，有机发光显示装置具有功耗低、亮度高以及响应速度快等优良特性。

为了制造有机发光显示装置，需要形成具有特定图案的电极和有机发光层等，作为其形成方法可以使用采用掩模板组装体的沉积法。

更具体地，有机发光显示装置具有在基板上设置有有机发光元件的机构。其中，通过将作为显示图像的基本单位的像素(pixel)排列为矩阵形态、并且在每个像素中夹着发射红色(Red)光、绿色(Green)光、蓝色(Blue)光以及白色(White)光等光的各个有机发光层依次形成有作为阳极的第一电极和作为阴极的第二电极，从而形成有机发光元件。其中，由于形成有机发光层的有机物质抗水分和氧等的能力较差，因此在形成有机发光层的工序中和形成有机发光层之后应当使其与水分彻底隔离，从而难以通过通常的光刻工序来实施图案化。进而，主要采用形成有被开口的图案部的掩模板来形成有机发光层，其中，所述被开口的图案部用于仅使沉积物质通过与各个图案对应的部分。

最近所使用的掩模板组装体包括：具有开口部的框架；以及以与开口部对应的方式，使得两端部固定在框架上的、多个带(band)状单位掩模板。

在这种现有的掩模板组装体中，由于通过给单位掩模板施加张力的方式将其支撑在框架上，因此存在因施加至单位掩模板的张力而形成在单位掩模板的图案部的形态发生变形的问题。

发明内容

本发明的一实施例为了解决上述的技术问题，提供了一种单位掩模板及包括该单位掩模板的掩模板组装体，从而防止了因施加至单位掩模板的张力而使形成在单位掩模板的图案部的形态发生变形的现象。

为了解决上述的技术问题，本发明的第一方面提供了一种在沿着第一方向施加张力的状态下两端部被支撑在框架上的单位掩模板，其包括：带状的掩模板本体部，沿着所述第一方向延伸；多个图案部，沿着所述第一方向设置在所述掩模板本体部上，并且具有各自沿着所述第一方向延伸开口并沿着与所述第一方向相交的第二方向相隔设置的多个图案缝隙；以及多个虚拟部，相隔地设置在所述掩模板本体部上，所述多个图案部位于所述多个虚拟部之间，并且所述多个虚拟部分别具有沿着所述第一方向延伸开口并沿着所述第二方向相隔设置的多个虚拟缝隙。

在所述多个虚拟缝中，设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙在所述第一方向上延伸的长度能够小于设置在所述第二方向的中心区域的虚拟缝隙在所述第一方向上延伸的长度。

设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙为多个，所述虚拟缝隙在所述第一方向上延伸的长度可以随着接近所述第二方向的外围而依次减小。

设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙可以为5至10个。

设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙为5个，设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙中，各相邻的虚拟缝隙的端部之间、在所述第一方向上的距离可以为5倍于所述相邻的虚拟缝隙之间、在所述第二方向上的距离。

设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙在所述第二方向上的宽度可以为2倍于设置在所述第二方向的中心区域的虚拟缝隙在所述第二方向上的宽度。

设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙为5个，设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙中，各相邻的虚拟缝隙的端部之间、在所述第一方向上的距离可以为6倍于所述相邻的虚拟缝隙之间、在所述第二方向上的距离。

设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙为5个，设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙中，各相邻的虚拟缝隙的端部之间、在所述第一方向上的距离可以为2倍于所述相邻的虚拟缝隙之间、在所述第二方向上的距离。

设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙为10个，设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙中，各相邻的虚拟缝隙的端部之间、在所述第一方向上的距离可以为5倍于所述相邻的虚拟缝隙之间、在所述第二方向上的距离。

另外，本发明的第二方面提供了一种掩模板组装体，包括：具有开口部的框架；以及多个上述的单位掩模板，位于所述开口部上。