[发明专利]单位掩模板及包括该单位掩模板的掩模板组装体

权利要求书

1.一种单位掩模板，其两端部在沿着第一方向施加有张力的状态下被支撑在框架上并覆盖所述框架的开口部的一部分，所述单位掩模板包括：

带状的掩模板本体部，沿着所述第一方向延伸；

多个图案部，沿着所述第一方向设置在所述掩模板本体部上，并且具有各自沿着所述第一方向延伸开口并沿着与所述第一方向相交的第二方向相隔设置的多个图案缝隙；以及

两个虚拟部，相隔地设置在所述掩模板本体部的两端部处，所述多个图案部位于相隔地设置在所述掩模板本体部的两端部处的所述两个虚拟部之间，并且所述两个虚拟部分别具有沿着所述第一方向延伸开口并沿着所述第二方向相隔设置的多个虚拟缝隙，

其中，在所述多个虚拟缝隙中，设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙在所述第一方向上延伸的长度小于设置在所述第二方向的中心区域的虚拟缝隙在所述第一方向上延伸的长度。

2.根据权利要求1所述的单位掩模板，其中，

设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙为多个，设置在所述第二方向的外围区域的所述虚拟缝隙在所述第一方向上延伸的长度随着接近所述第二方向的外围而依次减小。

3.根据权利要求2所述的单位掩模板，其中，

设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙为5至10个。

4.根据权利要求3所述的单位掩模板，其中，

设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙为5个，

设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙中，各相邻的虚拟缝隙的端部之间、在所述第一方向上的距离为5倍于所述相邻的虚拟缝隙之间、在所述第二方向上的距离。

5.根据权利要求4所述的单位掩模板，其中，

设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙在所述第二方向上的宽度为2倍于设置在所述第二方向的中心区域的虚拟缝隙在所述第二方向上的宽度。

6.根据权利要求3所述的单位掩模板，其中，

设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙为5个，

设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙中，各相邻的虚拟缝隙的端部之间、在所述第一方向上的距离为6倍于所述相邻的虚拟缝隙之间、在所述第二方向上的距离。

7.根据权利要求3所述的单位掩模板，其中，

设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙为5个，

设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙中，各相邻的虚拟缝隙的端部之间、在所述第一方向上的距离为2倍于所述相邻的虚拟缝隙之间、在所述第二方向上的距离。

8.根据权利要求3所述的单位掩模板，其中，

设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙为10个，

设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙中，各相邻的虚拟缝隙的端部之间、在所述第一方向上的距离为5倍于所述相邻的虚拟缝隙之间、在所述第二方向上的距离。

9.一种掩模板组装体，包括：

框架，具有开口部；以及

多个根据权利要求1至8中的任意一项所述的单位掩模板，位于所述开口部上。