[发明专利]一种集成的微显示OLED图像收发装置及其制作方法

权利要求书

1.一种集成的微显示OLED图像收发装置，包括基板、所述基板上的用于感光的光电二极管和所述基板上的用于发光的OLED，所述OLED发光光谱和所述光电二极管敏感的光谱不重合，其特征在于,还包括阻光层，所述OLED的金属互连线阳极和所述阻光层形成在金属间绝缘层上，所述阻光层确定所述OLED的发光区域的边界，所述光电二极管设置于所述OLED的金属互连线阳极旁边，且位于所述阻光层的下方，所述阻光层仅可透过预先设定的由所述光电二极管感应的波段的光。

2.如权利要求1所述的集成的微显示OLED图像收发装置，其特征在于,所述阻光层和所述OLED的金属互连线阳极有交叠，所述阻光层边缘覆盖在所述OLED的金属互连线阳极上。

3.如权利要求1或2所述的集成的微显示OLED图像收发装置，其特征在于, 所述OLED用于发射可见光，所述光电二极管用于感应近红外波段的红外光，或者，所述OLED用于发射近红外光，所述光电二极管用于感应可见光波段的光。

4.如权利要求1或2所述的集成的微显示OLED图像收发装置，其特征在于, 所述阻光层是光吸收层或滤光膜或光吸收层与滤光膜的结合，所述滤光膜是长波/短波通干涉滤光膜或带通型干涉滤光膜，所述干涉滤光膜采用真空镀膜制备，所述光吸收层采用高分子材料膜,阻光层采用光刻的方式成形。

5.如权利要求4所述的集成的微显示OLED图像收发装置，其特征在于,所述带通型干涉滤光层是多层介质膜，所述多层介质膜具有由高折射率层和低折射率层交替构成的周期性结构。

6.一种集成的微显示OLED图像收发装置的制作方法，包括在基板上形成光电二极管和OLED的步骤，其特征在于,还包括在所述光电二极管之上形成阻光层的步骤，所述阻光层仅可透过预先设定的由所述光电二极管感应的波段的光，所述OLED的金属互连线阳极和所述阻光层形成在金属间绝缘层上，所述阻光层确定所述OLED的发光区域的边界。

7.如权利要求6所述的集成的微显示OLED图像收发装置的制作方法，其特征在于,所述阻光层和所述OLED的金属互连线阳极有交叠，所述阻光层边缘覆盖在所述OLED的金属互连线阳极上。

8.如权利要求6或7所述的集成的微显示OLED图像收发装置的制作方法，其特征在于,形成所述阻光层的步骤在所述OLED的金属互连线阳极刻蚀成形之后进行。

9.如权利要求8所述的集成的微显示OLED图像收发装置的制作方法，其特征在于, 形成所述光电二极管、所述OLED和所述阻光层的步骤包括：

在p-Si基板上形成所述n阱；

在所述n阱形成所述光电二极管；

在所述光电二极管和所述基板上形成层间绝缘层；

在所述层间绝缘层中形成所述插拴，在所述层间绝缘层上形成金属互连线，所述n阱通过接触件和所述插拴连接到所述金属互连线；

在所述层间绝缘层和所述金属互连线上面形成金属间绝缘层；

在所述金属间绝缘层上形成所述OLED的金属互连线阳极；

在所述金属间绝缘层上形成所述阻光层。

10.如权利要求8或9所述的集成的微显示OLED图像收发装置的制作方法，其特征在于,所述金属间绝缘层经化学机械抛光或采用平整材料处理。