[发明专利]一种高功率汞灯灯室装置有效
申请号: | 201210476905.7 | 申请日: | 2012-11-22 |
公开(公告)号: | CN103836596A | 公开(公告)日: | 2014-06-04 |
发明(设计)人: | 陈旻峰 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | F21V29/02 | 分类号: | F21V29/02;G03F7/20 |
代理公司: | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人: | 王光辉 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 功率 汞灯灯室 装置 | ||
1.一种高功率汞灯灯室装置,其特征在于,包括:灯室,上冷却水套,椭球反射镜冷却水套,抽排风管,冷却水自动流量调节阀,抽排风自动流量调节阀以及智能流量控制系统;所述上冷却水套与椭球反射镜冷却水套连接,将汞灯局部封闭在其中;所述抽排风管形成特定风道;所述智能流量控制系统自动控制冷却水自动流量调节阀及抽排风自动流量调节阀。
2.根据权利要求1所述的高功率汞灯灯室装置,其特征在于所述智能流量控制系统还包括流量传感器和温度传感器,根据传感器传输的数据控制冷却水及抽排风流量。
3.根据权利要求1所述的高功率汞灯灯室装置,其特征在于所述冷却水系统各管路的接口设置在灯室外。
4.根据权利要求1所述的高功率汞灯灯室装置,其特征在于所述上冷却水套和椭球反射镜冷却水套分别设置冷却水进出口。
5.根据权利要求1所述的高功率汞灯灯室装置,其特征在于所述抽排风管在灯室内部分为三路,分别对应两路压缩空气和灯室外框与冷却水套之间空间。
6.根据权利要求1所述的高功率汞灯灯室装置,其特征在于所述椭球反射镜冷却水套粘接在汞灯的椭球反射镜上。
7.根据权利要求1所述的高功率汞灯灯室装置,其特征在于所述上冷却水套为阶梯型圆柱状整体。
8.根据权利要求1所述的高功率汞灯灯室装置,其特征在于所述上冷却水套为圆锥台。
9.根据权利要求1所述的高功率汞灯灯室装置,其特征在于所述汞灯两极分别配有干燥压缩气体,阳极冷却喷嘴固定在上冷却水套上,阴极冷却喷嘴通过支架固定在灯室底板上。
10.根据权利要求1所述的高功率汞灯灯室装置,其特征在于所述汞灯的阴极设计为带有散热翅片的结构。
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