[发明专利]一种提高钕铁硼磁力矫顽力的装置及方法

权利要求书

1.一种提高钕铁硼矫顽力的装置，包括真空容器及自上而下依次设置于所述真空容器内部的阳极、至少一个源电极和阴极，以及工件架，其特征在于，所述真空容器的顶部设置有惰性气体导入口和坩埚温控器，所述阳极与源电极通过等离子电源电连接，所述阳极与阴极通过等离子电源电连接。

2.根据权利要求1所述的提高钕铁硼矫顽力的装置，其特征在于，所述源电极由挥发金属元素组成。

3.根据权利要求2所述的提高钕铁硼矫顽力的装置，其特征在于，所述挥发金属元素为镝、铽或镝铽合金。

4.根据权利要求1至3任一所述的提高钕铁硼矫顽力的装置，其特征在于，所述源电极置于坩埚内。

5.根据权利要求1至3任一所述的提高钕铁硼矫顽力的装置，其特征在于，所述阴极固定在工件架一侧。

6.一种提高钕铁硼矫顽力的方法，其特征在于，包括以下步骤：

1）将钕铁硼磁体放置于工件架上，将权利要求1至5任一所述的装置的真空容器抽成真空，通过设置于真空容器的顶部的惰性气体导入口充入惰性气体；

2）开启电连接阳极与阴极的等离子电源，对钕铁硼磁体进行加热；

3）开启电连接阳极与源电极的等离子电源及设置于所述真空容器顶部的坩埚温控器，对源电极加热使其挥发、渗入钕铁硼表面，持续12～18个小时。

7.根据权利要求6所述的提高钕铁硼矫顽力的方法，其特征在于，步骤1）所述的充入惰性气体后的压力为1～100Pa。

8.根据权利要求6所述的提高钕铁硼矫顽力的方法，其特征在于，步骤2）所述的电连接阳极与阴极的等离子电源的电压为300～1500伏，对钕铁硼磁体加热至600～1000℃。

9.根据权利要求6所述的提高钕铁硼矫顽力的方法，其特征在于，步骤3）所述的电连接阳极与源电极的等离子的电压为400～600伏，对源电极加热至900～1100℃，钕铁硼表面的温度为850～1050℃。