[发明专利]晶体管、晶体管的制造方法、显示装置和电子设备有效

专利信息
申请号: 201210470032.9 申请日: 2012-11-19
公开(公告)号: CN103137866B 公开(公告)日: 2018-02-02
发明(设计)人: 牛仓信一;八木岩 申请(专利权)人: 索尼公司
主分类号: H01L51/05 分类号: H01L51/05;H01L51/10;H01L51/40
代理公司: 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司11290 代理人: 陈桂香,褚海英
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 晶体管 制造 方法 显示装置 电子设备
【权利要求书】:

1.一种晶体管,包括:

栅电极;

半导体层,其在绝缘层置于所述半导体层与所述栅电极之间的状态下,面向所述栅电极;

在所述半导体层上的蚀刻停止层;

一对接触层,其至少在所述蚀刻停止层的两侧上设置在所述半导体层上;以及

源-漏电极,其通过一对所述接触层电连接到所述半导体层,并且与所述绝缘层相接触,

其中,所述一对接触层包括位于所述蚀刻停止层的上表面上的部分和位于所述半导体层的上表面上的部分,并且因此处于不连续状态。

2.根据权利要求1所述的晶体管,其中

一对所述接触层具有彼此面对的各自的表面以及与所述各自的表面相反的各自的端面,以及

所述源-漏电极覆盖各个所述接触层的所述端面。

3.根据权利要求2所述的晶体管,其中,各个所述接触层的位于所述半导体层上的所述端面的位置与所述半导体层的端面的位置一致。

4.根据权利要求1所述的晶体管,其中,一对所述接触层也设置在所述蚀刻停止层的顶表面上。

5.根据权利要求1所述的晶体管,其中,所述绝缘层具有在所述源-漏电极与设置在所述绝缘层下方的电极之间建立连接的连接孔。

6.根据权利要求1所述的晶体管,其中,所述半导体层包括有机半导体材料。

7.一种制造晶体管的方法,所述方法包括:

形成栅电极;

在绝缘层置于半导体层与所述栅电极之间的状态下,形成面向所述栅电极的所述半导体层;

在所述半导体层上形成蚀刻停止层;

至少在所述蚀刻停止层的两侧上在所述半导体层上形成一对接触层;以及

在一对所述接触层到所述绝缘层的区域、在所述绝缘层上以及在所述接触层上形成源-漏电极,

其中,所述一对接触层包括位于所述蚀刻停止层的上表面上的部分和位于所述半导体层的上表面上的部分,并且因此处于不连续状态。

8.根据权利要求7所述的制造晶体管的方法,其中,所述半导体层和所述接触层通过图案化一同形成。

9.根据权利要求8所述的制造晶体管的方法,其中,所述图案化是由激光烧蚀执行的。

10.一种具有像素和驱动所述像素的至少一个晶体管的显示单元,所述至少一个晶体管包括:

栅电极;

半导体层,其在绝缘层置于所述半导体层与所述栅电极之间的状态下,面向所述栅电极;

在所述半导体层上的蚀刻停止层;

一对接触层,其至少在所述蚀刻停止层的两侧上设置在所述半导体层上;以及

源-漏电极,其通过一对所述接触层电连接到所述半导体层,并且与所述绝缘层相接触,

其中,所述一对接触层包括位于所述蚀刻停止层的上表面上的部分和位于所述半导体层的上表面上的部分,并且因此处于不连续状态。

11.一种具有显示单元的电子设备,所述显示单元设置有像素和驱动所述像素的至少一个晶体管的显示单元,所述至少一个晶体管包括:

栅电极;

半导体层,其在绝缘层置于所述半导体层与所述栅电极之间的状态下,面向所述栅电极;

在所述半导体层上的蚀刻停止层;

一对接触层,其至少在所述蚀刻停止层的两侧上设置在所述半导体层上;以及

源-漏电极,其通过一对所述接触层电连接到所述半导体层,并且与所述绝缘层相接触,

其中,所述一对接触层包括位于所述蚀刻停止层的上表面上的部分和位于所述半导体层的上表面上的部分,并且因此处于不连续状态。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于索尼公司,未经索尼公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210470032.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top