[发明专利]一种带有保护层的吸气剂及其制备方法

权利要求书

1.一种带有保护层的吸气剂，由吸气剂颗粒构成，其特征在于：所述的吸气剂颗粒具有双层结构，核心的主要成分为Zr、V和Fe，保护层的主要成分为Ni。

2.根据权利要求1所述的带有保护层的吸气剂，其特征在于：所述吸气剂颗粒的核心中，Zr的质量含量为60~80%，V的质量含量为10~35%，Fe的质量含量为1%~10%；所述吸气剂颗粒的保护层中，Ni的质量含量大于等于99.5%。

3.根据权利要求1所述的带有保护层的吸气剂，其特征在于：所述吸气剂颗粒的核心的粒径为20~200μm，所述吸气剂颗粒的保护层的厚度为10~80nm。

4.根据权利要求3所述的带有保护层的吸气剂，其特征在于：所述吸气剂颗粒的核心的粒径为50~100μm。

5.根据权利要求1所述的带有保护层的吸气剂，其特征在于：所述吸气剂的激活温度为180~350℃，激活时间为60~180min。

6.权利要求1-5中任一项所述的带有保护层的吸气剂的制备方法，包括如下步骤：

（1）用真空电弧炉熔炼符合吸气剂颗粒核心配比的合金铸锭，在氩气的气氛保护下破碎合金铸锭至直径为20~200μm，得到吸气剂颗粒核心；

（2）用去离子水清洗吸气剂颗粒核心，用HF腐蚀吸气剂颗粒，再用去离子水清洗；

（3）制备化学镀镍溶液，化学镀镍溶液为NiCl₂·6H₂O、Na₃C₆H₅O₇·2H₂O、H₃BO₃和NaH₂PO₂·H₂O的水溶液，pH为7~11；

（4）将步骤（3）得到的化学镀镍溶液用恒温水浴箱加热到45~85℃；在搅拌镀液的状态下，加入吸气剂颗粒核心，施镀5~25min；

（5）施镀结束后，倒去镀液，用去离子水清洗吸气剂颗粒；将制备的吸气剂颗粒在真空干燥箱中干燥；

（6）将干燥后的吸气剂颗粒压制成片、环或块状坯体；

（7）将步骤（6）中制备的吸气剂坯体放入真空烧结炉中进行烧结。

7.根据权利要求6所述的带有保护层的吸气剂的制备方法，其特征在于：所述的化学镀镍溶液中，NiCl₂·6H₂O的浓度为15~35g/L，Na₃C₆H₅O₇·2H₂O的浓度为30~50g/L，H₃BO₃的浓度为30~50g/L，NaH₂PO₂·H₂O的浓度为10~30g/L。

8.根据权利要求7所述的带有保护层的吸气剂的制备方法，其特征在于：制备化学镀镍溶液的步骤包括：用不锈钢作为镀槽，用镀槽体积的三分之一水量加热溶解NiCl₂·6H₂O，用另外三分之一的水量溶解Na₃C₆H₅O₇·2H₂O和H₃BO₃，然后将NiCl₂·6H₂O溶液在搅拌下倒入Na₃C₆H₅O₇·2H₂O和H₃BO₃溶液中，澄清过滤；用余下三分之一水量溶解NaH₂PO₂·H₂O，过滤，在搅拌下倒入上述混合液中，稀释至总体积，用1:10的硫酸或1:4的氨水调节pH值至7~11。

9.根据权利要求6所述的带有保护层的吸气剂的制备方法，其特征在于：所述HF的浓度为0.1~1.3wt.%，腐蚀吸气剂颗粒的时间为60~300s；所述干燥的温度为40℃，干燥时间为4~6h；所述烧结的温度为450~1000℃，烧结时间为10~20min。

10.权利要求1-5中任一项所述的带有保护层的吸气剂在微电子机械系统、平板显示器、太阳能绝热板中的应用。