[发明专利]曝光质量检测方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种曝光质量检测方法。

背景技术

以往，为了制造出高质量的印刷板，通常在制版之后检测通过制版装置进行曝光后的印刷板，判断通过曝光而得到的图案是否满足质量标准。

关于对曝光后的印刷板的质量检测，大致检测印刷板上的曝光而形成的图像质量（印刷物的质量）和几何学精度/重合精度（曝光再现性），其中，几何学精度/重合精度的指标包括绝对尺寸、图像斜度、线性度（内部歪斜）、曝光开始位置、重合精度（registration）。

如图13所示，在基板的表面和背面都印刷基板的情况下，如果表面和背面的图案斜度不同，则存在表面和背面的图案的位置不重合的缺陷。另外，如图14A、图14B所示，在为了制作册子而在表面进行曝光的情况下，如果内部图案的线条歪斜，则印刷品图案的大小不重合。这样，在进行多种颜色印刷的情况下，将会产生颜色偏差的缺陷。另外，在曝光再现性（重合精度）不好的印刷板上进行印刷的情况下，同样颜色也会出现偏差。

关于对上述指标的检测，如图15A、15B所示，以往将被评价印刷版1与标准印刷版2进行比较，然后通过显微镜观察被评价印刷版1和标准印刷版2的线条之间的差异，由此对曝光后的印刷板进行质量检测。但是通过这种检测方法进行测定的时间长，而且不能够进行高精度的修正。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种能够快速对曝光后的印刷板进行质量检测并且能够高精度地进行修正的曝光质量检测方法。

为了解决上述问题，本发明的技术方案1提供一种曝光质量检测方法，其特征在于，包括：曝光工序，通过制版装置对印刷版进行曝光而形成格子图案；测定工序，测定印刷版和所述格子图案；判定工序，判定所述测定的测定结果。

在技术方案2中，优选在所述判定工序中，判定绝对尺寸、图像斜度、线性度、曝光开始位置、重合精度中的至少一个。

在技术方案3中，优选在判定绝对尺寸的过程中，确定所述印刷版的四角上的4个点，算出相邻的两个点之间距离，将各个距离与理论值进行比较。

在技术方案4中，优选在判定图像斜度的过程中，确定构成所述格子图案的线条的交叉点中的规定的几个点，然后测定水平方向上的各点的连线相对于平行方向的斜度，并且测定与水平方向垂直的垂直方向上的各点的连线相对于垂直方向的斜度，另外测定所述印刷版的对角线的长度，将它们与理论值进行比较。

在技术方案5中，优选在判定线性度的过程中，在判定线性度的过程中，确定所述印刷版上的形成格子图案的各个线条的交叉点，然后测定出形成格子图案的一个线条上的至少两个交叉点之间的距离，将该距离与理论值进行比较。

在技术方案6中，优选在判定曝光开始位置的过程中，确定曝光开始位置相对于所述印刷版边缘的坐标，判定在多次曝光中该坐标是否相同。

在技术方案7中，优选在判定重合精度的过程中，判定对所述印刷版进行多次曝光时各次曝光中的线性度是否相同。

以往，将被评价印刷版与标准印刷版进行比较，然后通过显微镜观察被评价印刷版和基准基板的线条之间的差异，由此对曝光后的印刷板进行质量检测。但是通过这种检测方法进行测定的时间长，而且不能够进行高精度的修正。

根据本发明，能够缩短测定时间，并且能够高精度地进行修正，从而能够避免通过以往那样的检测方法进行测定而测定时间长且不能够进行高精度的修正的缺陷

附图说明

图1是表示本发明的制版设备的主视立体图。

图2是表示本发明的制版设备的后视立体图。

图3是表示本发明的制版设备的打开前板后的主视立体图。

图4是表示本发明的制版设备的内部结构的局部图。

图5是表示本发明的制版设备的记录滚筒的侧视图。

图6是表示制版设备制造出的印刷板的俯视示意图。

图7是表示检测印刷板的绝对尺寸的示意图。

图8是表示检测印刷板的图像斜度（直线性）的示意图。

图9是表示检测印刷板的图像的线性度（内部歪斜）的示意图。

图10是表示检测印刷板的图像的曝光开始位置的示意图。

图11是表示检测印刷板的图像的重合精度的示意图。

图12是表示本发明的检测步骤的流程图。

图13是表示因图像倾斜而引起的缺陷的示意图。

图14A、图14B是表示因线性度（内部歪斜）而引起的缺陷的示意图。

图15A、图15B是表示现有的曝光质量检测方法的示意图。