[发明专利]曝光质量检测方法

权利要求书

1.一种曝光质量检测方法，其特征在于，包括：

曝光工序，通过制版装置对印刷版进行曝光而形成格子图案；

测定工序，测定印刷版和所述格子图案；

判定工序，判定所述测定的测定结果。

2.如权利要求1所述的曝光质量检测方法，其特征在于，在所述判定工序中，判定绝对尺寸、图像斜度、线性度、曝光开始位置、重合精度中的至少一个。

3.如权利要求2所述的曝光质量检测方法，其特征在于，在判定绝对尺寸的过程中，确定所述印刷版的四角上的4个点，算出相邻的两个点之间距离，将各个距离与理论值进行比较。

4.如权利要求2所述的曝光质量检测方法，其特征在于，在判定图像斜度的过程中，确定构成所述格子图案的线条的交叉点中的规定的几个点，然后测定水平方向上的各点的连线相对于平行方向的斜度，并且测定与水平方向垂直的垂直方向上的各点的连线相对于垂直方向的斜度，另外测定所述印刷版的对角线的长度，将它们与理论值进行比较。

5.如权利要求2所述的曝光质量检测方法，其特征在于，在判定线性度的过程中，确定所述印刷版上的形成格子图案的各个线条的交叉点，然后测定出形成格子图案的一个线条上的至少两个交叉点之间的距离，将该距离与理论值进行比较。

6.如权利要求2所述的曝光质量检测方法，其特征在于，在判定曝光开始位置的过程中，确定曝光开始位置相对于所述印刷版边缘的坐标，判定在多次曝光中该坐标是否相同。

7.如权利要求2所述的曝光质量检测方法，其特征在于，在判定重合精度的过程中，判定对所述印刷版进行多次曝光时各次曝光中的线性度是否相同。