[发明专利]氟类气体专用检漏装置的真空管理

说明书

技术领域：本发明专利涉及氟类气体专用检漏装置的真空管理。

背景技术：高频磁场电离式的氟类气体专用检漏装置，其核心器件真空泵，在工作时，长期处于进气和排气过程中，真空度理论要求值达到6.2*10-1pa，要按照这样的真空度要求去配置真空泵，真空泵的价格较高，无法满足市场的需求。

发明内容：经过多年的研究发现，真空泵在实际使用中，只是在启动和工作状态时需要6.2*10-1pa真空度要求，其他情况下，0.5pa真空度环境就可满足要求。按照这样的技术要求，我们设计了一个控制机构，在启动和分析状态时，瞬间关闭进气，在瞬间达到真空度要求，达到了该检漏装置的工作要求。

通过真空管理，有效降低了高频磁场电离式的氟类气体检漏装置中核心器件之一的真空泵技术要求，大幅降低采购成本。

图1

附图说明：

图1是本发明专利实施例所述高频磁场电离式的氟类气体专用检漏装置真空管理机构示意图。

图中：

具体实施方式：

在启动和进入分析状态时，瞬间关闭抽气，快速达到真空度要求；

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。