[发明专利]氟类气体专用检漏装置的真空管理无效
| 申请号： | 201210453643.2 | 申请日： | 2012-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN103808464A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 金学江;徐克明 | 申请（专利权）人： | 上海石头电子有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/00 | 分类号： | G01M3/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201700 上海市青浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气体 专用 检漏 装置 真空 管理 | ||
【权利要求书】：
1.用于高频磁场电离式的氟类气体专用检漏装置的真空管理，其特征在于在启动和进入分析状态时，瞬间关闭进气，达到需要的真空度环境要求。
2.根据权利要求1所述的氟类气体检漏装置的真空管理，其特征在于，在传感器电离腔内设计了一个控制电路，在启动和进入分析状态时，发出关闭进气指令。
3.根据权利要求1所述的氟类气体检漏装置的真空管理，其特征在于，动态检测真空泵内真空度，在达到真空度技术参数时回馈控制电路恢复进气。
4.根据权利要求1所述的氟类气体检漏装置的的真空管理，其特征在于，电磁阀瞬间关闭进气，达到真空度要求后按照指令恢复进气。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海石头电子有限公司，未经上海石头电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210453643.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于光纤检测的固定装置
- 下一篇：荧光温度计
