[发明专利]大尺寸蓝宝石单晶生长炉用坩埚盖

权利要求书

1.一种大尺寸蓝宝石单晶生长炉用坩埚盖，其特征在于它采用圆形多层钼片制成，多层钼片上开有圆形中心孔，中心孔直径由上到下逐渐变小，多层钼片采用多组钼螺栓和配套钼螺母连接并固定，多层钼片间通过钼螺母隔开。

2.根据权利要求1所述的大尺寸蓝宝石单晶生长炉用坩埚盖，其特征在于所述的多层钼片采用金属钼制成，钼片数量为5~10片，外径为250~400mm，最上层1~2片厚度为2~3mm，最下层1~2片厚度为3~5mm，中间层钼片厚度为1~2mm。

3.根据权利要求2所述的大尺寸蓝宝石单晶生长炉用坩埚盖，其特征在于所述的圆形中心孔与上隔热屏圆形中心孔同心，最上层钼片圆形中心孔直径100~200mm，从上到下每层钼片中心孔直径比上一层小5~20mm。

4.根据权利要求3所述的大尺寸蓝宝石单晶生长炉用坩埚盖，其特征在于所述的多层钼片之间用高度为5~12mm的钼螺母隔开，6~10个钼螺栓均匀分布在距圆周10~20mm处。

5.根据权利要求4所述的大尺寸蓝宝石单晶生长炉用坩埚盖，其特征在于所述的多层钼片从上至下分别以2~5层为最上层，以相同方式用6~10个钼螺栓依次连结固定2~6层、3~6层、4~6层及5~6层钼片，相邻两层钼片之间同样用相应数量的钼螺母分隔钼片。

6.根据权利要求5所述的大尺寸蓝宝石单晶生长炉用坩埚盖，其特征在于所述的钼螺栓相邻层交错分布，钼螺栓螺杆位于距上面一层钼片圆形中心孔圆周的5~10mm处。