[发明专利]热压法制备ITO靶材的方法无效
| 申请号： | 201210446311.1 | 申请日： | 2012-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN103113089A | 公开（公告）日： | 2013-05-22 |
| 发明（设计）人： | 陈进中;熊爱臣;伍祥武;吴伯增;何焕全;韩洪涛;林东东;甘振英 | 申请（专利权）人： | 柳州百韧特先进材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/622 |
| 代理公司： | 广州凯东知识产权代理有限公司 44259 | 代理人： | 姚迎新 |
| 地址： | 545006 广西壮族自治区*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 热压 法制 ito 方法 | ||
1.热压法制备ITO靶材的方法，其包括以下步骤：
（1）首先将金属铟溶解于盐酸溶液中，向该溶液中加入四氯化锡，保持混合溶液中的铟锡质量比为9.45:1；然后将混合溶液导入三乙醇胺与聚乙烯吡咯烷酮溶液中，并加入氨水，形成合成溶液；接着对合成溶液加热，得到铟锡氢氧化物沉淀溶液；
（2）离心分离沉淀溶液中的沉淀物和液体；
（3）用水洗涤沉淀物，并离心分离沉淀物和水；
（4）重复步骤（3）3次—5次，得到沉淀物；
（5）干燥、煅烧步骤（4）的沉淀物，得到ITO粉末；
（6）在ITO粉末中加入聚乙烯醇，利用模具将ITO粉末干压成成型体；
（7）将成型体置于热压炉中,制取ITO靶材。
2.根据权利要求1所述的热压法制备ITO靶材的方法，其特征在于：所述聚乙烯醇的质量比为0.7%—1.0%。
3.根据权利要求1所述的热压法制备ITO靶材的方法，其特征在于：所述溶解加热温度为80℃,保持合成溶液的PH值为6-7。
4.根据权利要求1所述的热压法制备ITO靶材的方法，其特征在于： 所述步骤（5）的煅烧温度为1100℃—1300℃。
5.根据权利要求1所述的热压法制备ITO靶材的方法，其特征在于：所述步骤（7）的烧结条件为：温度1100℃、压力10MPa、时间300分钟。
6.根据权利要求1所述的热压法制备ITO靶材的方法，其特征在于：所述聚乙烯吡咯烷酮与沉淀物的质量比为1:10。
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