[发明专利]粘晶方法及其装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种粘晶方法及其装置，尤其是一种预热晶粒与粘合晶粒的粘晶方法与装置。

背景技术

光电元件，广为应用于目前的日常生活中，举例而言，光电元件中以发光二极管(Light-Emitting Diode，LED)最具有代表性，因发光二极管已被视为下一代照明光源，以取代传统的日光灯与卤素灯。

现有的光电元件的制作工艺，是将一晶粒置放于基板，以使二者相粘合，然而在置放过程中，是使用一取放装置，将晶粒由晶粒供应单元取出，放置于晶粒暂放平台，再由另一取放装置，从晶粒暂放平台取出晶粒，贴合于基板上，晶粒粘合基板前，晶粒需要历经多次取放，并且前述的制作工艺是依靠单一固晶机构与单一制作平台，所以现有的光电元件需要较长的制作时间，并且具有较为繁复的生产流程。

发明内容

在本发明的一实施例中，本发明的目的在于提供一种粘晶方法，其步骤包含有：

将一基板加热至一预定温度；

吸取至少一晶粒；

将该至少一晶粒固晶于该基板；

冷却已固晶的基板；以及

将该已固晶的基板移至一上下料位置，加热另一基板至该预定温度，并重复上述的步骤。

在本发明的另一实施例中，本发明的目的在于提供一种粘晶装置，其包含有：

一基台；

一晶粒供应单元，其设于该基台的一端；

一基板加热及冷却单元，其设于该基台的另一端；以及

一固晶单元，其设于该基台的顶端，并且能够于该晶粒供应单元与该基板加热及冷却单元之间移动。

本发明仅需将晶粒从晶圆盘取出直接固晶于基板上；另一方面，本发明有多组晶粒取放固晶机构，可一次从晶圆盘取出多颗晶粒，缩短取放时间；最后，本发明拥有双固晶平台，在其中一平台进行固晶制作时，另一平台可进行冷却与上下料基板，可有效降低制程时间。

附图说明

图1是本发明的一种粘晶装置的立体示意图。

图2是一晶粒供应单元的立体示意图。

图3是一控温模块的立体示意图。

图4是一取放固晶模块的立体示意图。

图5是一晶粒供应单元与一取放固晶模块的局部动作示意图。

图6是晶粒供应单元、取放固晶模块与一基板加热及冷却单元的动作示意图。

图7是取放固晶模块与基板加热及冷却单元的局部动作示意图。

图8是本发明的一种粘晶方法的流程示意图。

【主要元件符号说明】

1    基台

2    晶粒供应单元

20   晶圆工作台

200  晶圆盘载台

201  旋转模块

202  工作台X轴向移动单元

203  工作台Y轴向移动单元

21   晶粒顶出模块

3    基板加热及冷却单元

30        Y轴向移动模块

31        控温模块

311       冷却液流入管

312       冷却液流出管

313       恒温液入管

314       温度传感器

315       隔热板

316       支撑座

317       恒温板

318       附加电路板

319       恒温液出管

4         固晶单元

40        固晶单元Y轴向移动模块

41        取放固晶模块

410       第一视觉模块

411       可调整加压模块

412       真空吸放转接器

414       晶粒吸嘴

415       角度对位模块

42        取放固晶模块Z轴向对位模块

43        取放固晶模块X轴向移动模块

5         第二视觉模块

S1～S8    步骤

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明进一步详细说明。

参考图1所示，本发明提供一种粘晶装置，其具有一基台1、一晶粒供应单元2、一基板加热及冷却单元3、一固晶单元4、一第一视觉模块410与一第二视觉模块5。