[发明专利]一种离子注入机工厂自动化控制方法无效
| 申请号： | 201210442534.0 | 申请日： | 2012-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN103809530A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 余佳 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;H04L29/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 机工 自动化 控制 方法 | ||
【权利要求书】：
1.本发明公开了一种离子注入机工厂自动化控制方法，包括：服务器(1)、工控机(2)、离子注入机台(3)、工厂自动化控制计算机(4)、工厂自动化处理层(5)、通讯处理(6)、HOST(7)和控制逻辑处理(8)，其中服务器(1)与工控机(2)，服务器(1)与工厂自动化控制计算机(4)之间是通过TCP/IP协议进行通信，离子注入机设备(3)与服务器(1)和工控机(2)之间都是通过RS232串口或者TCP/IP网络通讯；工厂自动化处理层(5)、通讯处理(6)和控制逻辑处理(8)是运行于服务器(1)上的软件，HOST(7)为运行在工厂自动化控制计算机(4)的软件。
2.如权利要求1所述的一种离子注入机工厂自动化控制方法，其特征在于：通过远程的工厂自动化计算机(4)控制离子注入机台(3)，以实现离子注入机的车间级管理。
3.如权利要求1所述的一种离子注入机工厂自动化控制方法，其特征在于：工厂自动化计算机(4)可以向不同的离子注入机台发出统一的、符合SEMI国际标准的操作指令。
4.如权利要求1所述的一种离子注入机工厂自动化控制方法，其特征在于：通过远程的工厂自动化发出简单的组合命令，离子注入机台(3)完成一系列复杂的晶片离子注入操作。
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