[发明专利]一种IC装备真空反应腔冷却水道真空电子束焊接夹具

权利要求书

1.一种IC装备真空反应腔冷却水道真空电子束焊接夹具，其特征在于：包括XY轴二维平台、立卧动力头、转动卡盘（14）及顶尖组件，其中XY轴二维平台安装在真空电子束焊机上，所述立卧动力头及转动卡盘（14）通过安装座安装在XY轴二维平台的XY直线工作台（9）上，转动卡盘（14）安装在安装座上，并通过传动装置与立卧动力头的输出端相连接；所述顶尖组件安装在XY直线工作台（9）上，与所述转动卡盘（14）相对，该顶尖组件包括顶尖压紧手轮（21）、顶尖（22）、壳体（24）、螺柱丝杠（27）、内滑套（28）及外滑套（29），其中壳体（24）安装在XY直线工作台（9）上，顶尖压紧手轮（21）转动安装在壳体（24）的一侧，所述螺柱丝杠（27）的一端与顶尖压紧手轮（21）相连，另一端螺纹连接顶尖（22），所述内滑套（28）通过轴承连接在顶尖（22）外部、并随顶尖（22）沿螺柱丝杠（27）轴向往复移动，所述外滑套（29）设在内滑套（28）外部、并通过滑块螺钉与内滑套（28）连接，由内滑套（28）带动沿螺柱丝杠（27）轴向往复移动。

2.按权利要求1所述的IC装备真空反应腔冷却水道真空电子束焊接夹具，其特征在于：所述壳体（24）为内部中空结构，壳体（24）、外滑套（29）、内滑套（28）及螺柱丝杠（27）由外向内依次同心设置；所述外滑套（29）的内壁及壳体（24）的内壁分别沿轴向设有滑槽，内滑套（28）及外滑套（29）上的滑块螺钉分别在外滑套（29）内壁上的滑槽、壳体（24）内壁上的滑槽内滑动。

3.按权利要求1所述的IC装备真空反应腔冷却水道真空电子束焊接夹具，其特征在于：所述螺柱丝杠（27）另一端的端部安装有限制顶尖（22）伸出长度的端盖（26）。

4.按权利要求1所述的IC装备真空反应腔冷却水道真空电子束焊接夹具，其特征在于：所述XY轴二维平台包括X轴伺服电机（1）、X轴编码器（2）、X轴丝杠（3）、X轴滑台（4）、Y轴伺服电机（5）、Y轴编码器（6）、Y轴丝杠（7）、Y轴滑台（8）及XY直线工作台（9），其中Y轴伺服电机（5）的输出轴连接有Y轴丝杠（7），Y轴滑台（8）安装在与Y轴丝杠（7）螺纹连接的丝母上，所述Y轴伺服电机（5）上设有Y轴编码器（6）；所述X轴伺服电机（1）、X轴编码器（2）、X轴丝杠（3）及X轴滑台（4）随Y轴滑台（8）沿Y轴丝杠（7）往复移动，X轴伺服电机（1）的输出轴连接有X轴丝杠（3），X轴滑台（4）安装在与X轴丝杠（3）螺纹连接的丝母上，所述X轴伺服电机（1）上设有X轴编码器（2）；所述XY直线工作台（9）安装在X轴滑台（4）上。

5.按权利要求1或4所述的IC装备真空反应腔冷却水道真空电子束焊接夹具，其特征在于：所述立卧动力头及顶尖组件通过连接板（11）安装在XY直线工作台（9）上，该连接板（11）与XY直线工作台（9）之间通过定位槽与定位块定位，并通过T型槽与T型螺钉夹紧固定。

6.按权利要求1所述的IC装备真空反应腔冷却水道真空电子束焊接夹具，其特征在于：所述立卧动力头包括伺服电机（16）、减速器（17）及编码器（15），其中伺服电机（16）及减速器（17）分别安装在安装座上，伺服电机（16）的输出轴与减速器（17）相连，减速器（17）的输出端通过传动装置驱动转动卡盘（14）旋转；所述伺服电机（16）上安装有编码器（15）。

7.按权利要求1所述的IC装备真空反应腔冷却水道真空电子束焊接夹具，其特征在于：夹持在转动卡盘（14）上的被焊接工件具有随XY轴二维平台沿X轴、Y轴往复移动以及随转动卡盘（14）旋转三个自由度。