[发明专利]搬运机器人

说明书

技术领域

本文所讨论的实施方式涉及搬运机器人。

背景技术

常规地，已知一种搬运机器人，该搬运机器人在形成于所谓的EFEM（设备前端模块）的局部清洁设备中的空间内在半导体制造过程中将基板（例如，晶片）搬入或搬出处理设备。

搬运基板的搬运机器人总体上包括设置有保持单元的臂，所述保持单元在其末端保持基板并且在保持该基板（例如将基板放置在该保持单元的上表面上）的同时通过沿水平方向操作臂以及保持单元来搬运基板。

这种搬运机器人的示例包括这样的搬运机器人，该搬运机器人包括多个保持单元并且通过单独操作保持单元而将平行的多个基板搬运到彼此平行的平面上（例如，参见日本专利特开公报2007-005582）。

半导体制造过程包括加热基板的处理，例如，烘烤处理。因此，包括多个保持单元的搬运机器人在一些情况下需要与由保持单元搬运处理后的高温基板的操作并行地执行由另一保持单元搬运处理前的室温基板的操作。

然而，在包括多个保持单元的常规搬运机器人中，在一些情况下，另一保持单元不利地受到从在搬运高温基板期间的保持单元辐射的辐射热或者从搬运期间的受热基板辐射的辐射热的影响。

例如，当搬运高温基板的保持单元以及搬运室温基板的保持单元被设置成使它们彼此竖向靠近的位置关系时，搬运室温基板的保持单元能够不利地受到从搬运高温基板的保持单元辐射的辐射热或者从搬运期间的受热基板辐射的辐射热的影响。

实施方式的一方面鉴于前述被实现，并且实施方式的一方面的目的在于提供一种搬运机器人，该搬运机器人能够降低从搬运高温基板的保持单元辐射的辐射热或者从在另一保持单元上搬运期间的受热基板辐射的辐射热的不利影响。

发明内容

根据实施方式的一方面的机器人系统包括隔热构件和多个工件保持单元。这些工件保持单元均在一个表面上保持待搬运的工件并且在一些情况下在搬运所述工件期间竖向叠置地布置。所述隔热构件被设置在所述工件保持单元中的至少一个工件保持单元的另一表面侧上。

根据实施方式的一方面，可以提供这样一种搬运机器人，该搬运机器人能够降低从搬运高温基板的保持单元辐射的辐射热或者从在另一保持单元上搬运期间的受热基板辐射的辐射热的不利影响。

附图说明

结合附图，参考下面的详细说明，能够容易地获得并更好地理解对本发明的更全面的认识以及本发明的许多附带优点，在附图中：

图1是示出根据第一实施方式的搬运系统的总体构造的示意图；

图2是示出根据第一实施方式的搬运机器人的构造的示意图；

图3是根据第一实施方式的下部手的示意性立体图；

图4是根据第一实施方式的上部手的示意性立体图；

图5是示出根据第一实施方式的隔热板的形状的示意性立体图；

图6是示出根据第一实施方式的搬运机器人的姿势的示例的示意性侧视图；

图7是包括除了根据第一实施方式的隔热板之外的隔热构件的搬运机器人的示意性侧视图；

图8是根据第一实施方式的搬运机器人的示意性侧视图，所述搬运机器人在下段侧设置有用于高温的手并且在上段侧设置有用于低温的手；以及

图9和图10是根据第二实施方式的搬运机器人的示意性俯视图。

具体实施方式

在下文中，将参考附图详细地解释在本申请中公开的包括搬运机器人的搬运系统的实施方式。本发明不局限于下列实施方式。

在下文中，对以下情况进行说明，其中，作为待搬运对象的工件是基板，并且该基板是半导体晶片，并且“半导体晶片”被描述为“晶片”。此外，作为末端执行器的“机器人手”被描述为“手”。

（第一实施方式）

首先，将参考图1说明根据第一实施方式的搬运系统的总体构造。图1是示出根据第一实施方式的搬运系统1的总体构造的示意图。

为了便于理解，在图1中，示出了三维笛卡尔坐标系，该三维笛卡尔坐标系包括其中正向竖直向上并且负向竖直向下（即，“竖直方向”）的Z轴。因此，沿着XY平面的方向表示“水平方向”。在一些情况下在用于下列说明的其他附图中示出了该笛卡尔坐标系。此外，在下文中，对于包括多个元件的部件，仅其中一个元件用附图标记表示，并且在一些情况下省略了其他元件的附图标记。