[发明专利]使用溅射装置的溅射方法

权利要求书

1.一种使用溅射装置的溅射方法，设定从溅射靶材的一侧到另一侧的整个扫描区间，并使磁体沿着所述整个扫描区间做正向和反向的连续多次往返运动，以扫描所述溅射靶材，其特征在于，包括：

原扫描步骤，以扫描方向为基准从所述溅射靶材的左侧端部到右侧端部将所述整个扫描区间区划为n个部分，并设定分别以第p个部分和第n-p+1个部分为开始部分和结尾部分的原扫描区间，并使所述磁体将所述原扫描区间至少往返扫描一次，其中n为等于或大于4的整数，p为等于或大于1且等于或小于n/2的整数；及

变更扫描步骤，在所述原扫描步骤后，设定分别以第q个部分和第n-q+1个部分为开始部分和结尾部分的变更扫描区间，并使所述磁体将所述变更扫描部分至少往返扫描一次，其中q为等于或大于1且等于或小于n/2的整数，并且q≠p，

所述变更扫描步骤至少执行一次。

2.根据权利要求1所述的使用溅射装置的溅射方法，其特征在于，

在所述变更扫描步骤中，所述q为p-1或p+1。

3.根据权利要求1所述的使用溅射装置的溅射方法，其特征在于，

当所述变更扫描步骤执行两次以上时，将多个变更扫描区间的开始部分设定为互不相同。

4.根据权利要求1所述的使用溅射装置的溅射方法，其特征在于，

将所述n个部分中每个部分的宽度设定为实质上相同。

5.根据权利要求1所述的使用溅射装置的溅射方法，其特征在于，

将所述n个部分中每个部分的宽度设定为实质上与溅射靶材的宽度相同。

6.一种使用溅射装置的溅射方法，设定从溅射靶材的一侧到另一侧的整个扫描区间，使磁体沿着整个扫描区间做正向和反向的连续多次往返运动，以扫描所述溅射靶材，其特征在于，包括以下步骤：

设定被分割为n个部分的所述整个扫描区间，其中n为正整数；

设定将所述整个扫描区间中的至少一部分作为区间的多个正向扫描区间和多个反向扫描区间；

设定分别由多个所述正向扫描区间和多个所述反向扫描区间组成的第一扫描周期和第二扫描周期；

所述第一扫描周期如下：将所述n个部分中的第一个部分和第p个部分分别设定为第一个正向扫描区间的开始部分和结尾部分，将所述n个部分中的第a个部分和第p+a-1个部分分别设定为第a个正向扫描区间的开始部分和结尾部分，以此类推将多个正向扫描区间排列至p+a-1成为n为止，其中，1≤a≤n/2,（n/2）+1≤p<n,a、p为整数，

所述第二扫描周期如下：按所述第一扫描周期中排列的多个正向扫描区间的倒序排列多个正向扫描区间，

在所述第一扫描周期和所述第二扫描周期中构成的多个反向扫描区间分别以前一个正向扫描区间的结尾部分作为开始部分，以后一个正向扫描区间的开始部分作为结尾部分，以使磁体连续移动，

所述第一扫描周期和所述第二扫描周期至少交替排列一次。

7.根据权利要求6所述的使用溅射装置的溅射方法，其特征在于,

在所述第一扫描周期和所述第二扫描周期交替排列时，进一步排列以先排列扫描周期的最后一个正向扫描区间的结尾部分作为开始部分，以后排列扫描周期的第一个正向扫描区间的开始部分作为结尾部分的反向扫描区间。

8.根据权利要求6所述的使用溅射装置的溅射方法，其特征在于,

将所述n个部分中每个部分的宽度设定为实质上相同。

9.根据权利要求6所述的使用溅射装置的溅射方法，其特征在于,

将所述n个部分中每个部分的宽度设定为与溅射靶材的宽度实质上相同。