[发明专利]微机械器件以及用于制造微机械器件的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种微机械器件以及一种用于制造微机械器件的方法。

背景技术

微机械器件或微机械结构或微机械系统例如从公开文献DE 10 2009045 391 A1、DE 10 2008 001 442 A1和DE 10 2007 060 878 A1已知。

发明内容

本发明所基于的任务在于，提出一种改进的微机械器件以及一种改进的用于制造微机械器件的方法。

这些任务借助各独立权利要求的相应主题来解决。有利的扩展方案是相应从属权利应要求的主题。

根据一个方面提出了一种微机械器件。该微机械器件包括一衬底和一振动质量，该振动质量在第一悬架上与衬底连接。此外还设置有至少一个第一电极，用于检测振动质量在第一方向上的运动，其中，第一电极在第二悬架上与衬底连接。此外，该器件包括至少一个第二电极，用于检测振动质量在不同于第一方向的第二方向上的运动，其中，第二电极在第三悬架上与衬底连接。规定，第一电极借助支承臂与第二悬架机械连接并且与第二悬架隔开间距地设置。

根据另一方面，提供一种用于制造微机械器件、尤其是前述微机械器件的方法。该方法尤其是可以构建为微机械方法，即微机械制造方法。该方法尤其包括在衬底上产生振动质量的步骤，其中，振动质量通过第一悬架与衬底连接。此外还产生至少一个第一电极，用于检测振动质量在第一方向上的运动，其中，第一电极在第二悬架上与衬底连接。此外，产生至少一个第二电极，用于检测振动质量在不同于第一方向的第二方向上的运动，其中，第二电极在第三悬架上与衬底连接。规定，第一电极与第二悬架借助支承臂机械连接，使得第一电极与第一悬架隔开间距地设置。

本发明于是尤其包括如下构思：第一电极与其相应的第二悬架隔开间距地设置，其中，设置一支承臂作为第二悬架与第一电极之间的机械连接，该支承臂就此而言有利地是或者形成第一电极与第二悬架的机械连接。该支承臂就此而言有利地起到第一电极与第二悬架之间的间隔器的作用。这尤其是说，第一电极不是直接地设置或固定或锚接在第二悬架上，而是与第二悬架隔开间距地设置。支承臂因此尤其可以称作为间隔器。

由于设置这种支承臂，第一电极可以与第二悬架的位置无关地布置或者说定位。通常是，第一电极布置得距振动质量的第一悬架越远，第一电极能够越好或越灵敏地检测或探测振动质量在第一方向上的运动。因此，借助支承臂有利地能够实现将第一电极布置得远离第一悬架。有利地能够实现对振动质量在第一方向上的运动的灵敏探测。

根据一个实施方式规定，微机械器件形成为加速度传感器，尤其为微机械的加速度传感器。这尤其是说，这种微机械器件可以探测或测量或检测作用于振动质量或衬底上的加速度。

根据一个实施方式规定，第一方向相应于三维空间的一个空间轴。优选地可以规定，第二方向相应于三维空间的第二空间轴。这种三维空间尤其可以借助笛卡尔坐标系来定义。优选地，第一方向可以相应于y方向或者y轴。尤其是，第二方向可以相应于三维空间的x轴或者x方向。

在另一实施方式中可以规定，第一电极与第二悬架之间的距离大于第一悬架与第二悬架之间的距离。这尤其是说，电极悬架和质量悬架比第一电极与其相应的电极悬架相靠得更近。在此通常是，质量悬架、在此即第一悬架和电极悬架、在此即第二悬架布置得彼此越远离，则当衬底变形时由振动质量和由第一电极形成的电极面彼此相对移动越强。这样尤其会出现所谓偏置（Offset）的不利的和不期望的改变。所谓偏置在此尤其表示在0g的加速度时第一电极的输出信号。这尤其是说，尽管微机械器件没有被加速，第一电极供给或提供信号。在此尤其是，振动质量恰好不是在第一方向上运动。仅仅由于衬底的变形而产生了第一电极的信号。

但通过根据该实施方式规定第一电极与第二悬架之间的距离大于第一悬架与第二悬架之间的距离，可以有利地使这种偏置信号保持得非常小，这有利地引起可靠的加速度测量。尤其可以规定，第一悬架和第二悬架彼此直接相邻地设置。

在另一实施方式中可以规定，设置多个第一电极，其中，与这些电极对应的第二悬架围绕第一悬架对称地设置。通过设置多个第一电极可以有利地对第一方向上的运动实施更为灵敏的检测或探测。通过第二悬架围绕第一悬架对称布置，有利地有效利用现有的空间。尤其是，对称布置使得第一电极的测量信号特别均匀。