[发明专利]微机械器件以及用于制造微机械器件的方法

权利要求书

1.一种微机械器件（101，301，401），包括：

-衬底（102），

-振动质量（103），其在第一悬架（105）上与衬底（102）连接，

-至少一个第一电极（117），用于检测振动质量（103）在第一方向上的运动，其中，第一电极（117）在第二悬架（109）上与衬底（102）连接，

-至少一个第二电极（127；127a；127b），用于检测振动质量（103）在不同于第一方向的第二方向上的运动，其中，第二电极（127；127a；127b）在第三悬架（125）上与衬底（102）连接，

其特征在于，

-第一电极（117）借助支承臂（111）与第二悬架（109）机械连接并且与第二悬架（109）隔开间距地设置。

2.根据权利要求1所述的微机械器件（101，301，401），其特征在于，第一电极（117）与第二悬架（109）之间的距离大于第一悬架（105）与第二悬架（109）之间的距离。

3.根据权利要求1或2所述的微机械器件（101，301，401），其特征在于，设置有多个第一电极（117），其中，与这些第一电极对应的第二悬架（109）围绕第一悬架（105）对称地设置。

4.根据上述权利要求之一所述的微机械器件（101，301，401），其特征在于，所述支承臂（111）具有分支（113），使得形成彼此隔开间距的支承臂分支，其中，在支承臂分支上分别设置有至少一个第一电极（117）。

5.根据上述权利要求之一所述的微机械器件（101，301，401），其特征在于，第二电极（127；127a；127b）借助又一支承臂（303）与第三悬架（125）机械连接并且与第三悬架（125）隔开间距地设置。

6.根据上述权利要求之一所述的微机械器件（101，301，401），其特征在于，振动质量（103）具有缺口（107），第一悬架（105）和第二悬架（109）设置在该缺口内。

7.根据权利要求6所述的微机械器件（101，301，401），其特征在于，振动质量（103）借助两个扭转弯曲弹簧（123）与第一悬架（105）连接，其中，所述两个扭转弯曲弹簧（123）分别从第一悬架（105）向所述缺口的彼此对置的侧延伸，并且，所述支承臂（111）在振动质量（103）处于静止位置中时平行于所述扭转弯曲弹簧（123）设置，在该静止位置中该振动质量未偏转。

8.根据上述权利要求之一所述的微机械器件（101，301，401），其特征在于，第一悬臂（105）和第二悬臂（109）设置在振动质量（103）的中心区域中，其中，该中心区域在一个方向上的最大尺寸相对于振动质量（103）在该方向上的尺寸为60%。

9.根据上述权利要求之一以及回引权利要求5和7的权利要求所述的微机械器件（101，301，401），其特征在于，第三悬架（125）设置在所述缺口（107）内并且所述又一支承臂（303）垂直于所述支承臂（111）设置。

10.根据上述权利要求之一所述的微机械器件（101，301，401），其特征在于，设置有多个第一电极（117），其中，所述多个第一电极（117）中的一部分固定在第一平面中而所述多个第一电极（117）的另一部分固定在第二平面中，其中，第一平面和第二平面（407）上下相叠地设置。

11.根据上述权利要求之一所述的微机械器件（101，301，401），其特征在于，所述微机械器件（101，301，401）形成为加速度传感器。

12.一种用于制造微机械器件（101，301，401）的方法，包括如下步骤：

-在衬底（102）上产生（1203）一振动质量（103），其中，该振动质量（103）通过第一悬架（105）与衬底（102）连接，

-产生（1205）用于检测振动质量（103）在第一方向上的运动的至少一个第一电极（117），其中，第一电极（117）在第二悬架（109）上与衬底（102）连接，

-产生（1207）用于检测振动质量（103）在不同于第一方向的第二方向上的运动的至少一个第二电极（127；127a；127b），其中，第二电极（127；127a；127b）在第三悬架（125）上与衬底（102）连接，

其特征在于，

-借助一支承臂（111）将第一电极（117）与第二悬架（109）机械连接（1209），使得第一电极（117）与第二悬架（109）隔开间距地设置。