[发明专利]盘状物夹持装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体晶片工艺技术领域，特别是涉及一种盘状物夹持装置。

背景技术

晶片工艺中的清洗工艺是通过卡盘夹持并旋转待清洗晶片来实现对晶片表面的清洗的，现有技术中用于夹持晶片的卡盘应用最多的是销夹盘、伯努利吸盘等。

在公开号为ZL200910087488.5的专利中公开了一种利用弹簧的弹力将晶片卡紧，并利用磁铁的吸引力来打开晶片。在申请号为US5513668和US4903717的美国专利中公开了一种利用伯努利原理固定晶片的卡盘利用伯努利原理在卡盘和晶片之间形成一层气垫。利用气垫来轴向定位晶片，通过分布在晶片圆周的夹持元件来实现径向定位。

但是这些专利都有一个无法克服的缺点：无法对夹持元件与晶片接触的地方进行清洗，从而影响晶片整体清洗质量。

发明内容

（一）要解决的技术问题

本发明提供一种盘状物夹持装置，用以解决晶片清洗过程中无法清洗夹持元件与晶片接触的地方，从而影响晶片清洗质量的问题。

（二）技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供一种盘状物夹持装置，包括用于固定盘状物的卡盘主体及用于旋转所述卡盘主体的旋转轴，所述卡盘主体的边缘设置有第一夹持元件组和第二夹持元件组，且所述第一夹持元件组和第二夹持元件组分别包括至少三个第一夹持元件和第二夹持元件，所述第一夹持元件和第二夹持元件均可以其与所述卡盘主体的连接点为旋转中心在竖直平面旋转；

所述卡盘主体下与每个所述第一夹持元件相对的位置均设置有第一驱动组件，用于推动或吸引所述第一夹持元件以其旋转中心旋转；所述卡盘主体下与每个所述第二夹持元件相对的位置均设置有第二驱动组件，用于推动或吸引所述第二夹持元件以其旋转中心旋转；

所述卡盘主体侧壁上与每个所述第一夹持元件和第二夹持元件旋转中心上方相对的位置均设置有弹性体，用于径向弹开所述第一夹持元件和第二夹持元件。

如上所述的盘状物夹持装置，优选的是，所述第一夹持元件的重心位于其旋转中心的上方，所述第二夹持元件的重心位于其旋转中心的下方；

所述第一驱动组件位于所述卡盘主体下与每个所述第一夹持元件旋转中心下方相对的位置；所述第二驱动组件位于所述卡盘主体下与每个所述第二夹持元件旋转中心下方相对的位置。

如上所述的盘状物夹持装置，优选的是，所述第一驱动组件包括位于所述卡盘主体第一径向槽内的第一顶杆和位于所述卡盘主体第一轴向槽内的第一滑动导向块，且所述第一径向槽和第一轴向槽相通，所述第一滑动导向块可在所述第一轴向槽内上下移动，用于顶出所述第一顶杆；所述第二驱动组件包括位于所述卡盘主体第二径向槽内的第二顶杆和位于所述卡盘主体第二轴向槽内的第二滑动导向块，且所述第二径向槽和第二轴向槽相通，所述第二滑动导向块可在所述第二轴向槽内上下移动，用于顶出所述第二顶杆；

所述第一驱动组件和第二驱动组件还分别包括用于驱动所述第一滑动导向块和第二滑动导向块上下移动的驱动源。

如上所述的盘状物夹持装置，优选的是，所述第一轴向槽和第二轴向槽沿圆周方向连通，且所述第一滑动导向块和第二滑动导向块为一体结构。

如上所述的盘状物夹持装置，优选的是，所述第一滑动导向块和第二滑动导向块的顶端为具有分别凸向所述第一顶杆和第二顶杆设定弧度的圆弧面。

如上所述的盘状物夹持装置，优选的是，所述驱动源为气缸。

如上所述的盘状物夹持装置，优选的是，所述驱动源为电磁铁。

如上所述的盘状物夹持装置，优选的是，所述第一滑动导向块和第二滑动导向块底端分别镶嵌一磁铁；或

所述第一滑动导向块和第二滑动导向块均为铁磁性材质。

如上所述的盘状物夹持装置，优选的是，所述卡盘主体上具有至少三个盘状物支撑，用于轴向定位所述盘状物。

如上所述的盘状物夹持装置，优选的是，所述卡盘主体为以所述旋转轴与所述卡盘主体固定点为中心，两组，每组由至少三个沿径向分布的辐条构成的辐条状支撑体；或

以所述固定点为中心的圆盘。

如上所述的盘状物夹持装置，优选的是，所述弹性体包括挡块，所述挡块通过一弹簧可压缩固定在所述卡盘主体侧壁上的第三径向槽中。

（三）有益效果